[实用新型]一种温差控制匀胶显影加热单元

权利要求书

1.一种温差控制匀胶显影加热单元，包括均热盘体(1)，其特征在于：所述均热盘体(1)分为托盘上表面板(11)、石墨烯均温层(12)、绝缘导热隔板(13)、夹层加热电路(14)与底部保温压板(15)，所述托盘上表面板(11)、石墨烯均温层(12)、绝缘导热隔板(13)、夹层加热电路(14)与底部保温压板(15)从上到下依次设置，托盘上表面板(11)的表面为晶圆加热面，托盘上表面板(11)上表面浅表处固定高精度温度传感器(2)。

2.根据权利要求1所述的一种温差控制匀胶显影加热单元，其特征在于：所述托盘上表面板(11)、石墨烯均温层(12)、绝缘导热隔板(13)、夹层加热电路(14)与底部保温压板(15)五层板压合成“五明治”结构。

3.根据权利要求1所述的一种温差控制匀胶显影加热单元，其特征在于：所述夹层加热电路(14)为合金金属膜，薄膜厚度100uM。

4.根据权利要求1所述的一种温差控制匀胶显影加热单元，其特征在于：所述底部保温压板(15)本身具绝缘性并喷涂隔热保温涂层。

5.根据权利要求2所述的一种温差控制匀胶显影加热单元，其特征在于：所述五明治一、三、五三层在轴向有功能工艺孔贯穿，石墨烯均温层(12)也要打孔。

6.根据权利要求1所述的一种温差控制匀胶显影加热单元，其特征在于：所述托盘上表面板(11)、绝缘导热隔板(13)接触面上设有0.1～0.2mm深的V型槽导气，各V槽线平行贯通全板，间距约15mm。