[实用新型]一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置，其特征在于：包括基架上横撑(1)、基架下横撑(2)、基架第一竖撑(3)、基架第二竖撑(4)，所述基架上横撑(1)下侧设置有所述基架下横撑(2)，所述基架上横撑(1)和所述基架下横撑(2)之间通过所述基架第一竖撑(3)和所述基架第二竖撑(4)连接，所述基架第一竖撑(3)上成型有基架第一竖撑可调定位孔(21)，所述基架第二竖撑(4)上成型有基架第二竖撑可调定位孔(20)，所述基架第一竖撑(3)和所述基架第二竖撑(4)中部均设置有自压紧卡扣锁定平头螺丝(28)，所述自压紧卡扣锁定平头螺丝(28)上安装有自压紧卡扣(15)，所述基架上横撑(1)上安装有四个陶瓷轴承带丝轴头(11)，所述陶瓷轴承带丝轴头(11)一端安装有导向陶瓷轴承(10)，所述陶瓷轴承带丝轴头(11)另一端安装有带封盖螺丝母(12)，所述基架第一竖撑(3)和所述基架第二竖撑(4)之间设置有可调中分竖撑杆(7)，所述可调中分竖撑杆(7)上成型有中分竖撑杆可调定位孔(18)，所述可调中分竖撑杆(7)前端设置有可调压顶横杆(6)，所述可调压顶横杆(6)下侧设置有可调底座横杆(5)，所述可调压顶横杆(6)两端通过可调压顶横杆U型端头(16)连接所述基架第一竖撑(3)和所述基架第二竖撑(4)，所述可调底座横杆(5)两端通过可调底座横杆U塑端头(17)连接所述基架第一竖撑(3)和所述基架第二竖撑(4)，所述可调压顶横杆(6)上两侧成型有可调压顶横杆定位孔(23)，所述可调压顶横杆(6)中部成型有可调压顶横杆中分可调定位孔(24)，所述可调压顶横杆中分可调定位孔(24)上连接有自压紧卡扣弹簧(25)，所述自压紧卡扣弹簧(25)上连接有所述自压紧卡扣(15)，所述自压紧卡扣(15)上成型有自压紧卡扣压舌(26)，所述可调底座横杆(5)上两侧成型有可调底座横杆定位孔(22)，所述可调底座横杆(5)上中部位置成型有下横杆中分可调定位孔(19)，所述可调底座横杆定位孔(22)和所述下横杆中分可调定位孔(19)上连接有可调基片底座固定沉头螺丝(14)，所述可调基片底座固定沉头螺丝(14)前端连接有可调基片底座(13)，所述可调基片底座(13)上安装有可调基片底座金属套(27)，所述基架下横撑(2)下端设置有五个基片承载装置悬浮电位绝缘四氟块(9)，所述基片承载装置悬浮电位绝缘四氟块(9)下端连接有基片承载装置位移被动轴(8)。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置，其特征在于：所述基架上横撑(1)、所述基架下横撑(2)、所述基架第一竖撑(3)、所述基架第二竖撑(4)两两之间通过焊接连接。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置，其特征在于：所述可调压顶横杆U型端头(16)通过焊接连接所述可调压顶横杆(6)，所述可调底座横杆U塑端头(17)通过焊接连接所述可调底座横杆(5)。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置，其特征在于：所述陶瓷轴承带丝轴头(11)通过螺纹连接所述基架上横撑(1)和所述带封盖螺丝母(12)，所述导向陶瓷轴承(10)转动连接所述陶瓷轴承带丝轴头(11)。

5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置，其特征在于：所述基片承载装置悬浮电位绝缘四氟块(9)通过焊接连接所述基架下横撑(2)，所述基片承载装置位移被动轴(8)通过螺栓连接所述基片承载装置悬浮电位绝缘四氟块(9)。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置，其特征在于：所述自压紧卡扣弹簧(25)通过螺栓连接所述可调压顶横杆(6)，所述自压紧卡扣压舌(26)和所述自压紧卡扣(15)一体成型。

7.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置，其特征在于：所述可调基片底座(13)通过所述可调基片底座固定沉头螺丝(14)连接所述可调底座横杆(5)，所述可调基片底座金属套(27)通过螺栓连接所述可调基片底座(13)。