[实用新型]一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置

说明书

本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置，包括基架上横撑、基架下横撑、基架第一竖撑、基架第二竖撑，所述基架上横撑下侧设置有所述基架下横撑，所述基架上横撑和所述基架下横撑之间通过所述基架第一竖撑和所述基架第二竖撑连接。本实用新型通过磁控溅射镀膜基片承载装置构件可调性设置，使承载装置基片承载兼容性更大，摒弃了一种玻璃规格尺寸匹配一套基片承载装置的单一模式，大大减少了基片承载装置的更换频率，同时也大大提高了磁控溅射镀膜的生产效率，通过磁控溅射镀膜基片承载装置玻璃基片防倒防滑自压紧卡扣设置，使玻璃基片承载移动稳定性更好，有效地降低了承载玻璃基片的破损率。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜多规格基片加工领域，特别是涉及一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置。

背景技术

随着电子科技的快速发展，功能电子显示玻璃面板也得到了广泛应用，市场需求量在不断增加，这也使得全国各大磁控溅射镀膜生产企业开足马力实施量产。磁控溅射镀膜基片承载装置是镀膜生产线承载玻璃基片进行溅射沉积功能薄膜的重要载体，由于在当前镀膜生产中所采用的基片承载装置大多是一种玻璃规格占用－套承载装置，在生产需要更换玻璃规格时要同时更换相应的基片承载装置，不仅影响生产数量而且还会出现周期性质量波动，因此，一套承载装置兼容两种规格玻璃基片己相继在－些镀膜企业开始使用。

一般磁控溅射镀膜生产企业都会根据常用玻璃基片规格种类来配备相应的基片承载装置，传统的基片承载装置配置方法也给镀膜生产企业造成了巨大隐形经济损失，为了解决上述问题，本实用新型提供了－种能够兼容多种规格玻璃基片的磁控溅射镀膜基片承载装置。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种磁控溅射镀膜多规格基片承载装置，包括基架上横撑、基架下横撑、基架第一竖撑、基架第二竖撑，所述基架上横撑下侧设置有所述基架下横撑，所述基架上横撑和所述基架下横撑之间通过所述基架第一竖撑和所述基架第二竖撑连接，所述基架第一竖撑上成型有基架第一竖撑可调定位孔，所述基架第二竖撑上成型有基架第二竖撑可调定位孔，所述基架第一竖撑和所述基架第二竖撑中部均设置有自压紧卡扣锁定平头螺丝，所述自压紧卡扣锁定平头螺丝上安装有自压紧卡扣，所述基架上横撑上安装有四个陶瓷轴承带丝轴头，所述陶瓷轴承带丝轴头一端安装有导向陶瓷轴承，所述陶瓷轴承带丝轴头另一端安装有带封盖螺丝母，所述基架第一竖撑和所述基架第二竖撑之间设置有可调中分竖撑杆，所述可调中分竖撑杆上成型有中分竖撑杆可调定位孔，所述可调中分竖撑杆前端设置有可调压顶横杆，所述可调压顶横杆下侧设置有可调底座横杆，所述可调压顶横杆两端通过可调压顶横杆U型端头连接所述基架第一竖撑和所述基架第二竖撑，所述可调底座横杆两端通过可调底座横杆U塑端头连接所述基架第一竖撑和所述基架第二竖撑，所述可调压顶横杆上两侧成型有可调压顶横杆定位孔，所述可调压顶横杆中部成型有可调压顶横杆中分可调定位孔，所述可调压顶横杆中分可调定位孔上连接有自压紧卡扣弹簧，所述自压紧卡扣弹簧上连接有所述自压紧卡扣，所述自压紧卡扣上成型有自压紧卡扣压舌，所述可调底座横杆上两侧成型有可调底座横杆定位孔，所述可调底座横杆上中部位置成型有下横杆中分可调定位孔，所述可调底座横杆定位孔和所述下横杆中分可调定位孔上连接有可调基片底座固定沉头螺丝，所述可调基片底座固定沉头螺丝前端连接有可调基片底座，所述可调基片底座上安装有可调基片底座金属套，所述基架下横撑下端设置有五个基片承载装置悬浮电位绝缘四氟块，所述基片承载装置悬浮电位绝缘四氟块下端连接有基片承载装置位移被动轴。

优选的：所述基架上横撑、所述基架下横撑、所述基架第一竖撑、所述基架第二竖撑两两之间通过焊接连接。

如此设置，所述基架上横撑、所述基架下横撑、所述基架第一竖撑、所述基架第二竖撑起支撑作用，通过焊接保证了连接强度。

优选的：所述可调压顶横杆U型端头通过焊接连接所述可调压顶横杆，所述可调底座横杆U塑端头通过焊接连接所述可调底座横杆。