[实用新型]一种抽插式平面靶轭铁结构有效

专利信息
申请号: 202022467936.9 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN213835521U 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 汪选林 申请(专利权)人: 深圳森丰真空镀膜有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 鲍敬
地址: 518000 广东省深圳市光明*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 抽插式 平面 靶轭铁 结构
【权利要求书】:

1.一种抽插式平面靶轭铁结构,其特征在于,包括:

靶材;

靶体,所述靶体与所述靶材相连,所述靶体限定有容纳腔,所述靶体的顶端设有插入口,所述靶体的底端设有顶起孔,所述插入口和所述顶起孔分别与所述容纳腔连通,所述顶起孔处可拆卸安装有密封堵头,所述容纳腔的远离所述靶材的内壁上分别设有第一导块和第二导块,所述第一导块邻近所述顶起孔,所述第二导块邻近所述插入口;

轭铁,所述轭铁的靠近所述靶材的表面上固定安装有磁铁,所述轭铁通过所述插入口插入到所述容纳腔中,所述轭铁的远离所述靶材的表面抵接在所述第一导块和所述第二导块上,且所述磁铁与所述容纳腔的靠近所述靶材的表面抵接。

2.根据权利要求1所述的抽插式平面靶轭铁结构,其特征在于,所述轭铁的靠近所述插入口的一端设有进水孔,所述进水孔沿所述轭铁的长度方向延伸且贯穿至所述轭铁的靠近所述靶材的表面,所述轭铁的外侧壁、所述磁铁与所述容纳腔的内侧壁限定出水流通道,所述插入口的一部分限定出出水口,所述进水孔、所述水流通道和所述出水口连通。

3.根据权利要求1所述的抽插式平面靶轭铁结构,其特征在于,所述第一导块的靠近所述插入口的表面被构造成导向斜面,沿所述轭铁的插入方向,所述导向斜面朝向靠近所述靶材的方向倾斜,所述第一导块的靠近所述靶材的表面上设有台阶部,所述轭铁的远离插入口的一端抵接在所述台阶部上。

4.根据权利要求1所述的抽插式平面靶轭铁结构,其特征在于,所述靶体的邻近所述插入口一端设有第一斜面,所述第二导块的靠近所述插入口的一侧设有挡板;

所述第二导块的横截面形状为直角三角形,所述第二导块具有互相垂直的第一平面和第二平面以及与所述第一平面和所述第二平面相连的第二斜面;

所述第二斜面与所述第一斜面平行且抵接,所述第一平面与所述轭铁抵接,所述第二平面与所述挡板抵接,所述挡板通过螺钉与所述靶体相连。

5.根据权利要求1所述的抽插式平面靶轭铁结构,其特征在于,所述顶起孔为螺孔,所述密封堵头与所述顶起孔螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的抽插式平面靶轭铁结构,其特征在于,所述靶体包括本体、端板和接头,所述本体和所述接头均被构造成环形,所述本体的一端与所述端板固定连接,所述本体的另一端与所述接头固定连接,所述端板上设有所述顶起孔,所述接头限定出所述插入口。

7.根据权利要求1所述的抽插式平面靶轭铁结构,其特征在于,所述靶材与所述靶体之间设有石墨层。

8.根据权利要求1所述的抽插式平面靶轭铁结构,其特征在于,所述靶体上可拆装安装有压板,所述压板将所述靶材紧压在所述靶体上。

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