[实用新型]一种检测装置和硅片分选设备

说明书

本实用新型提供了一种检测装置，包括输送机构和检测机构，检测机构用于检测待测物体的与输送机构的输送方向垂直的两条边缘的检测，检测机构包括检测相机、第一边缘照射光源、第二边缘照射光源和反射机构，其中：第一边缘照射光源用于照射待测物体的第一边缘；第二边缘照射光源用于照射待测物体的第二边缘；反射机构用于为对第一边缘照射光源发出的第一边缘照射光线进行反射使得第一边缘照射光线经第一边缘反射后被检测相机探测到；反射机构用于对第二边缘照射光源发出的第二边缘照射光线进行反射使得第二边缘照射光线经第二边缘反射后被检测相机探测到。本实用新型仅设置一套检测机构即实现了对待检测物体两条边缘的检测，降低了检测装置的成本。

技术领域

本实用新型属于硅片检测领域，尤其涉及一种检测装置和硅片分选设备。

背景技术

硅片边缘检测是硅片检测过程中必不可少的步骤。为了实现对硅片的两条相对边缘的检测，传统的硅片检测装置包括第一边缘检测装置和第二边缘检测装置。第一边缘检测装置和第二边缘检测装置均包括各自的光源、反射机构及检测相机。传统的硅片检测存在结构复杂，成本偏高的缺陷。

实用新型内容

针对传统的检测装置存在的上述技术缺陷，本实用新型第一方面提供了一种检测装置，其技术方案如下：

一种检测装置，其包括用于输送待测物体的输送机构和检测机构，检测机构被配置为检测输送机构输送的待测物体的第一边缘和第二边缘，第一边缘和第二边缘为待测物体上相对的且与输送机构的输送方向垂直的两条边缘，检测机构包括检测相机、第一边缘照射光源、第二边缘照射光源和反射机构，其中：

第一边缘照射光源被配置为照射待测物体的第一边缘；

第二边缘照射光源被配置为照射待测物体的第二边缘；

反射机构被配置为对第一边缘照射光源发出的第一边缘照射光线进行至少一次反射，以使得第一边缘照射光线经待测物体的第一边缘反射后被检测相机探测到；

反射机构被配置为对第二边缘照射光源发出的第二边缘照射光线进行至少一次反射，以使得第二边缘照射光线经待测物体的第二边缘反射后被检测相机探测到。

通过第一边缘照射光源、第二边缘照射光源、检测相机和反射机构的配合，本实用新型的检测装置能够实现对待检测物体的垂直于输送机构的输送方向的两条相对的边缘的检测。与现有技术中的检测装置相比，本实用新型只需要设置一套反射机构、检测相机即能实现对待检测物体的两条相对边缘的检测，其极大地降低了检测装置的结构复杂度及成本。

在一些实施例中，输送机构将待测物体从后往前输送，第一边缘为待测物体的前端边缘，第二边缘为待测物体的后端边缘，第一边缘照射光源位于输送机构的前侧，第二边缘照射光源位于输送机构的后侧，检测相机位于输送机构的上方或下方并位于第一边缘照射光源和第二边缘照射光源之间；待测物体的前端边缘到达第一检测位置时，第一边缘照射光源发出的第一边缘照射光线照射至待测物体的前端边缘，自前端边缘反射的第一边缘照射光线经反射机构反射至检测相机；待测物体的后端边缘到达第二检测位置时，第二边缘照射光源发出的第二边缘照射光线照射至待测物体的后端边缘，自后端边缘反射的第二边缘照射光线经反射机构反射至检测相机。

通过对第一边缘照射光源、第二边缘照射光源、检测相机及反射机构进行设置，待测物体从后向前输送过程中，检测相机能够依次、连续地实现对待测物体的前后端边缘的检测，从而保证检测效率。

在一些实施例中，第一检测位置和第二检测位置之间的距离大于待测物体的前端边缘和待测物体的后端边缘之间的距离，待测物体的后端边缘在第一时刻到达第二检测位置，待测物体的前端边缘在第二时刻到达第一检测位置，第一时刻早于所述第二时刻。

通过对第一检测位置和第二检测位置之间的距离，即输送机构的输送长度进行调节，待测物体从后向前输送过程中，检测相机能够先后实现对待测物体的后端边缘、前端边缘的检测。