[实用新型]一种掩模架子有效
申请号: | 202022475747.6 | 申请日: | 2020-10-31 |
公开(公告)号: | CN213276258U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 华卫群;尤春;刘维维;顾梦星;杨东海;张月圆;薛文卿 | 申请(专利权)人: | 无锡中微掩模电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人: | 吴忠义 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 架子 | ||
1.一种掩模架子,包括曝光台(1)以及固定于所述曝光台(1)上方的激光器组件(2),其特征在于:所述曝光台(1)与所述激光器组件(2)之间设有能调节且固定不同尺寸掩模的固定调节组件(3)。
2.根据权利要求1所述的一种掩模架子,其特征在于:所述固定调节组件(3)包括与激光器组件(2)的连接杆连接固定的基板(4),所述基板(4)顶面开设有相互横纵交错的两个活动槽(5),所述活动槽(5)内设有螺纹杆(6),所述螺纹杆(6)一端固定连接有限位盘(7),所述螺纹杆(6)另一端穿过活动槽(5)外并固定连接有转柄(8),所述螺纹杆(6)外表面呈对接结构螺纹连接有第一活动块(9)、第二活动块(10),所述第一活动块(9)、第二活动块(10)顶端穿过活动槽(5)外分布固定连接有第一滑块(11)、第二滑块(12),所述第一滑块(11)顶面中部设有挡板(13),所述挡板(13)外侧固定连接有伸缩杆(14),所述伸缩杆(14)外表面卷绕有弹簧(15),所述弹簧(15)两端分别与挡板(13)以及第一滑块(11)挂接配合,所述第一滑块(11)、第二滑块(12)顶面内侧嵌设有多个滚轮(16)。
3.根据权利要求2所述的一种掩模架子,其特征在于:所述第一滑块(11)、第二滑块(12)与基板(4)活动配合,所述限位盘(7)与活动槽(5)转动配合,所述挡板(13)与第一滑块(11)活动配合。
4.根据权利要求3所述的一种掩模架子,其特征在于:所述第一滑块(11)、第二滑块(12)呈L型结构。
5.根据权利要求4所述的一种掩模架子,其特征在于:所述活动槽(5)呈顶窄底宽结构。
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