[实用新型]接口阀及化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种接口阀，其特征在于，包括：阀体、承插法兰及连接环，

所述阀体具有沿自身轴向贯通的第一通孔、以及沿自身轴向设置于所述阀体的一端的第一法兰盘；

所述承插法兰具有沿自身轴向贯通的第二通孔、以及沿自身轴向设置于所述承插法兰的一端的第二法兰盘；

所述连接环具有内孔；

所述第一法兰盘通过所述连接环与所述第二法兰盘可拆卸地连接，且所述第一通孔、所述内孔与所述第二通孔用于依次贯通。

2.根据权利要求1所述的接口阀，其特征在于，所述第一法兰盘具有多个周向均匀分布的第一定位孔，所述第二法兰盘具有多个周向均匀分布的第二定位孔，所述连接环具有多个周向均匀分布的第三定位孔，所述第一定位孔、所述第二定位孔及所述第三定位孔用于相互对位，以供螺栓穿设连接。

3.根据权利要求2所述的接口阀，其特征在于，所述第一定位孔、所述第二定位孔及所述第三定位孔均为六个。

4.根据权利要求1所述的接口阀，其特征在于，所述接口阀还包括涂覆层，所述涂覆层分别层叠设置于所述第一法兰盘的外表面、所述承插法兰的外表面、所述第一通孔的内壁以及所述第二通孔的内壁。

5.根据权利要求4所述的接口阀，其特征在于，所述阀体具有沿自身轴向设置于所述阀体的另一端的第三法兰盘，所述涂覆层层叠设置于所述第三法兰盘的外表面。

6.根据权利要求1所述的接口阀，其特征在于，所述阀体还包括沿所述第一通孔的径向与所述第一通孔连通的旁支管道，以及连接于所述旁支管道远离所述第一通孔的一端的第四法兰盘，所述第四法兰盘异于连接所述旁支管道的一端用于与控制阀门法兰连接。

7.根据权利要求1所述的接口阀，其特征在于，所述接口阀还包括设置于所述第一通孔内的阀片，所述阀片的延伸方向平行于所述第一通孔的轴向。

8.根据权利要求1所述的接口阀，其特征在于，所述承插法兰具有沿自身轴向凸出所述第二法兰盘的插接部，所述阀体和所述承插法兰用于通过所述连接环相互装配后，所述插接部朝远离所述阀体的方向凸出，所述插接部用于插入待安装壳体的预定部位。

9.根据权利要求8所述的接口阀，其特征在于，所述插接部具有沿周向设置于所述插接部之外周的卡槽，所述卡槽沿所述插接部的径向向内凹陷，所述卡槽用于与待安装壳体的预定部位设置的连接套卡合连接。

10.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括根据权利要求1～9中任一项所述的接口阀。