[实用新型]接口阀及化学气相沉积设备

说明书

本实用新型提供一种接口阀及化学气相沉积设备，接口阀包括：阀体、承插法兰及连接环，阀体具有沿自身轴向贯通的第一通孔、以及沿自身轴向设置于阀体的一端的第一法兰盘；承插法兰具有沿自身轴向贯通的第二通孔、以及沿自身轴向设置于承插法兰的一端的第二法兰盘；连接环具有内孔；第一法兰盘通过连接环与第二法兰盘可拆卸地连接，且第一通孔、内孔与第二通孔用于依次贯通。通过设置连接环以连接阀体和承插法兰，一方面可使接口阀具有良好的密封性，避免气体泄漏；另一方面阀体、连接环及承插法兰为可拆卸地连接，三者中任一个发生损坏时，可以方便地拆卸更换、节省维护成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种接口阀及化学气相沉积设备。

背景技术

现有的法兰接口为承插式法兰，与动力风管对接后无法机械固定，只能使用硅胶封堵对接处，易导致气体泄漏。另外，法兰接口绝大部分采用PVC材质制成，虽然增加了法兰接口的耐腐蚀性，但长期使用会导致法兰接口老化甚至断裂。改进型的法兰接口的一端的法兰盘较厚，可以承受较大的压应力，但不符合工程力学设计原理，易导致法兰接口的其他部位受力不均而断裂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种接口阀及化学气相沉积设备，以解决现有的法兰接口易导致气体泄漏的问题。

为解决上述技术问题，基于本实用新型的一个方面，本实用新型提供一种接口阀，其包括：阀体、承插法兰及连接环，

所述阀体具有沿自身轴向贯通的第一通孔、以及沿自身轴向设置于所述阀体的一端的第一法兰盘；

所述承插法兰具有沿自身轴向贯通的第二通孔、以及沿自身轴向设置于所述承插法兰的一端的第二法兰盘；

所述连接环具有内孔；

所述第一法兰盘通过所述连接环与所述第二法兰盘可拆卸地连接，且所述第一通孔、所述内孔与所述第二通孔用于依次贯通。

可选的，所述第一法兰盘具有多个周向均匀分布的第一定位孔，所述第二法兰盘具有多个周向均匀分布的第二定位孔，所述连接环具有多个周向均匀分布的第三定位孔，所述第一定位孔、所述第二定位孔及所述第三定位孔用于相互对位，以供螺栓穿设连接。

可选的，所述第一定位孔、所述第二定位孔及所述第三定位孔均为六个。

可选的，所述接口阀还包括涂覆层，所述涂覆层分别层叠设置于所述第一法兰盘的外表面、所述承插法兰的外表面、所述第一通孔的内壁以及所述第二通孔的内壁。

可选的，所述阀体具有沿自身轴向设置于所述阀体的另一端的第三法兰盘，所述涂覆层层叠设置于所述第三法兰盘的外表面。

可选的，所述阀体还包括沿所述第一通孔的径向与所述第一通孔连通的旁支管道，以及连接于所述旁支管道远离所述第一通孔的一端的第四法兰盘，所述第四法兰盘异于连接所述旁支管道的一端用于与控制阀门法兰连接。

可选的，所述接口阀还包括设置于所述第一通孔内的阀片，所述阀片的延伸方向平行于所述第一通孔的轴向。

可选的，所述承插法兰具有沿自身轴向凸出所述第二法兰盘的插接部，所述阀体和所述承插法兰用于通过所述连接环相互装配后，所述插接部朝远离所述阀体的方向凸出，所述插接部用于插入待安装壳体的预定部位。

可选的，所述插接部具有沿周向设置于所述插接部之外周的卡槽，所述卡槽沿所述插接部的径向向内凹陷，所述卡槽用于与待安装壳体的预定部位设置的连接套卡合连接。

基于本实用新型的另一个方面，本实用新型还提供一种化学气相沉积设备，包括如上所述的接口阀。