[实用新型]基板承载装置

权利要求书

1.一种基板承载装置，应用于镀膜装置中，其特征在于，包括支撑柱、遮挡件、相连接的第一承载件和第二承载件，所述支撑柱设置在所述第一承载件上，所述支撑柱的端部用于与所述基板的板面抵接，所述第二承载件包括朝向所述支撑柱凸出的抵接部，所述抵接部用于与所述基板的侧端部抵接；

所述第二承载件的部分结构与所述基板的侧端部之间具有间隙，以在所述第二承载件和所述基板之间形成供靶材原子进入所述基板背面的绕镀通道，所述遮挡件设置在所述第一承载件上，并用于遮挡所述绕镀通道的至少部分区域。

2.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，

所述第二承载件包括押元和夹持块，所述押元连接于所述第一承载件，且围绕所述支撑柱的侧方，所述夹持块设置在所述押元朝向所述支撑柱的一侧，并形成所述抵接部；

所述押元朝向所述支撑柱的表面包括在周向上相互接续的第一区域和第二区域，所述第一区域用于和所述夹持块贴合，所述第二区域与所述基板的侧端部之间的空隙形成所述绕镀通道。

3.根据权利要求2所述的基板承载装置，其特征在于，

所述支撑柱的数量为多个，且间隔排布在所述第一承载件的一个表面上，所述支撑柱包括与所述押元相邻的第一支撑柱，所述遮挡件的部分结构位于所述第一支撑柱和所述第二区域之间。

4.根据权利要求3所述的基板承载装置，其特征在于，

所述遮挡件和所述第一支撑柱通过紧固件连接在所述第一承载件上。

5.根据权利要求3所述的基板承载装置，其特征在于，

所述支撑柱还包括第二支撑柱，所述第二支撑柱位于多个所述第一支撑柱之间，多个所述第二支撑柱的轴向高度相同，且所述第二支撑柱的轴向高度与所述第一支撑柱的轴向高度之差大于或等于所述遮挡件的厚度。

6.根据权利要求3-5任一项所述的基板承载装置，其特征在于，

所述遮挡件包括主体部，所述主体部为板状件，所述板状件的板面与所述支撑柱的轴线方向具有夹角。

7.根据权利要求6所述的基板承载装置，其特征在于，

所述遮挡件还包括立起部，所述立起部位于所述第一支撑柱和所述押元之间，所述立起部一端与所述主体部连接，另一端的伸出方向与所述第一支撑柱相同。

8.根据权利要求6所述的基板承载装置，其特征在于，

所述遮挡件包括自主体部朝向背离所述第一支撑柱的方向凸出的衬垫部，且所述衬垫部位于与所述第一支撑柱对应的位置。

9.根据权利要求3-5任一项所述的基板承载装置，其特征在于，

所述遮挡件沿所述第一承载件的外缘形状延伸，和/或，

所述遮挡件包括多个子遮挡件，多个所述子遮挡件沿所述第一承载件的外缘形状拼合成所述遮挡件。

10.根据权利要求3-5任一项所述的基板承载装置，其特征在于，

所述遮挡件的背离所述第一承载件的表面上设有多个凹陷。