[实用新型]基板承载装置

说明书

本实用新型提供一种基板承载装置，应用于镀膜装置中，包括支撑柱、遮挡件、相连接的第一承载件和第二承载件，支撑柱设置在第一承载件上，支撑柱的端部用于与基板的板面抵接，第二承载件包括朝向支撑柱凸出的抵接部，抵接部用于与基板的侧端部抵接；第二承载件的部分结构与基板的侧端部之间具有间隙，以在第二承载件和基板之间形成供靶材原子进入基板背面的绕镀通道，遮挡件设置在第一承载件上，并用于遮挡绕镀通道的至少部分区域。本实用新型不会在基板承载装置内部产生异常沉积，基板承载装置使用寿命较长，且生产过程中不会产生异常放电，镀膜效率和品质较高。

技术领域

本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种基板承载装置。

背景技术

薄膜沉积技术在半导体等领域有着广泛的应用。目前，在显示产品的制作过程中，通常将基板固定在基板承载装置上，靶材与所述基板相对设置来进行薄膜沉积。

现有的基板承载装置一般包括：对盒连接的内框架和外框架，内框架上有用于支撑基板的板面的支撑柱，外框架的四周围绕设置有基板押元，基板押元上设有夹持件，夹持件间隔分布在外框架四周以和支撑柱配合对基板进行夹持固定。

然而，基板押元上未设置有夹持件的部分和基板侧端部具有间隙，在基板镀膜过程中靶材原子容易通过该间隙绕镀到基板承载装置内部，产生异常沉积，导致基板承载装置使用寿命缩短，并伴有生产过程中异常放电的风险。

实用新型内容

本实用新型提供一种基板承载装置，使用寿命较长，且生产过程中不会产生异常放电，镀膜效率和品质较高。

本实用新型第一方面提供一种基板承载装置，应用于镀膜装置中，包括支撑柱、遮挡件、相连接的第一承载件和第二承载件，支撑柱设置在第一承载件上，支撑柱的端部用于与基板的板面抵接，第二承载件包括朝向支撑柱凸出的抵接部，抵接部用于与基板的侧端部抵接；

第二承载件的部分结构与基板的侧端部之间具有间隙，以在第二承载件和基板之间形成供靶材原子进入基板背面的绕镀通道，遮挡件设置在第一承载件上，并用于遮挡绕镀通道的至少部分区域。

在一种可能的实现方式中，第二承载件包括押元和夹持块，押元连接于第一承载件，且围绕支撑柱的侧方，夹持块设置在押元朝向支撑柱的一侧，并形成抵接部；

押元朝向支撑柱的表面包括在周向上相互接续的第一区域和第二区域，第一区域用于和夹持块贴合，第二区域与基板的侧端部之间的空隙形成绕镀通道。

在一种可能的实现方式中，支撑柱的数量为多个，且间隔排布在第一承载件的一个表面上，支撑柱包括与押元相邻的第一支撑柱，遮挡件的部分结构位于第一支撑柱和第二区域之间。

在一种可能的实现方式中，遮挡件和第一支撑柱通过紧固件连接在第一承载件上。

在一种可能的实现方式中，支撑柱还包括第二支撑柱，第二支撑柱位于多个第一支撑柱之间，多个第二支撑柱的轴向高度相同，且第二支撑柱的轴向高度与第一支撑柱的轴向高度之差大于或等于遮挡件的厚度。

在一种可能的实现方式中，遮挡件包括主体部，主体部为板状件，板状件的板面与支撑柱的轴线方向具有夹角。

在一种可能的实现方式中，遮挡件还包括立起部，立起部位于第一支撑柱和押元之间，立起部一端与主体部连接，另一端的伸出方向与第一支撑柱相同。

在一种可能的实现方式中，遮挡件包括自主体部朝向背离第一支撑柱的方向凸出的衬垫部，且衬垫部位于与第一支撑柱对应的位置。

在一种可能的实现方式中，遮挡件沿第一承载件的外缘形状延伸，和/或，

遮挡件包括多个子遮挡件，多个子遮挡件沿第一承载件的外缘形状拼合成遮挡件。

在一种可能的实现方式中，遮挡件的背离第一承载件的表面上设有多个凹陷。