[实用新型]一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台有效
| 申请号： | 202022486460.3 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN213655473U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 谢斌平;池彬;赵嘉峰 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F16C29/02 | 分类号： | F16C29/02;F16H25/24 |
| 代理公司： | 上海国瓴律师事务所 31363 | 代理人： | 傅耀 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 控制 精度 重复 定位 自由度 平移 | ||
1.一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台，其特征在于：包括第一平移台、第二平移台、直线导轨、直线导轨滑块、平移驱动装置、光栅尺和光栅尺读取头，所述第一平移台和所述第二平移台滑动安装，所述直线导轨滑块滑动安装于所述直线导轨一端，所述平移驱动装置连接所述第一平移台和所述第二平移台，所述光栅尺位于所述第一平移台上，所述光栅尺读取头位于所述第二平移台上，所述光栅尺位于所述光栅尺读取头一侧。
2.根据权利要求1所述的一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台，其特征在于：所述平移驱动装置包括丝母、丝杆和电机；所述丝母固定在所述第二平移台上，所述丝杆通过转动部件，安装在第一平移台上，所述电机固定于第一平移台上。
3.根据权利要求2所述的一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台，其特征在于：还包括第三平移台；所述第三平移台位于所述第二平移台上方并通过所述平移驱动装置连接，所述丝杆通过转动部件安装于所述第二平移台上，所述丝母位于所述第三平移台上，所述电机固定于所述第二平移台上。
4.根据权利要求3所述的一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台，其特征在于：所述丝杆为滚珠丝杆。
5.根据权利要求4所述的一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台，其特征在于：所述电机为伺服电机。
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