[实用新型]一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台

说明书

本实用新型提供了一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台，包括第一平移台、第二平移台、平移驱动装置、光栅尺和光栅尺读取头，所述第一平移台和所述第二平移台滑动安装，所述平移驱动装置连接所述第一平移台和所述第二平移台，所述光栅尺位于所述第一平移台上，所述光栅尺读取头位于所述第二平移台上，所述光栅尺位于所述光栅尺读取头一侧。其中本实用新型的有益效果是：通过平移驱动装置结合光栅尺作为闭环反馈控制，实时反馈实际位置。实现高的控制精度和高的重复定位精度，可达到亚微米级。

技术领域

本实用新型涉及一种多自由度平移台，特别涉及一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台。

背景技术

样品传统结构为微分头与步进电机的组合，并采取开环控制，精度在微米级别，重复定位精度低。

本实用新型采用直线导轨支撑，高精度丝杆和伺服电机驱动，用光栅尺作为闭环反馈控制，实时反馈实际位置。实现高的控制精度和高的重复定位精度，可达到亚微米级。

发明内容

为了解决上述技术问题，本实用新型中披露了一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台，本实用新型的技术方案是这样实施的：

一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台，包括第一平移台、第二平移台、直线导轨、直线导轨滑块、平移驱动装置、光栅尺和光栅尺读取头，第一平移台和第二平移台滑动安装，直线导轨滑块滑动安装于直线导轨一端，平移驱动装置连接第一平移台和第二平移台，光栅尺位于第一平移台上，光栅尺读取头位于第二平移台上，所述光栅尺位于所述光栅尺读取头一侧。

优选地，所述平移驱动装置包括丝母、丝杆和电机；所述丝母固定在所述第二平移台上，所述丝杆通过转动部件，安装在第一平移台上，所述电机固定于第一平移台上。

优选地，还包括第三平移台；所述第三平移台位于所述第二平移台上方并通过所述平移驱动装置连接，所述丝杆通过转动部件安装于所述第二平移台上，所述丝母位于所述第三平移台上，所述电机固定于所述第二平移台上。

优选地，丝杆为滚珠丝杆。

优选地，电机为伺服电机。

实施本实用新型的技术方案可解决现有技术中重复定位精度低的技术问题；实施本实用新型的技术方案，通过直线导轨支撑，高精度丝杆和伺服电机驱动，用光栅尺作为闭环反馈控制，实时反馈实际位置，可实现控制精度和高的重复定位精度的技术效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

图1为本实用新型主视结构示意图；

图2为本实用新型后视结构示意图；

图3为本实用新型侧视结构示意图。

在上述附图中，各图号标记分别表示：

1 第一平移台

2 第二平移台

3 直线导轨滑块

4 直线导轨

5 平移驱动装置

5-1 丝母

5-2 丝杆