[实用新型]一种纳米压印翻模机工装治具

权利要求书

1.一种纳米压印翻模机工装治具，包括硬模板(1)，设置在硬模板(1)上可上下浮动的环形挡圈(2)，设置在硬模板(1)上方用于取出软模板的取料盘(3)；其特征在于：所述环形挡圈(2)的外侧设置有一圈沿环形挡圈(2)半径方向来回移动的离子风扩散装置(4)，所述离子风扩散装置(4)的内侧壁上均匀设置有离子风出风孔(401)，在离子风扩散装置(4)内设置有与离子风出风孔(401)连通的主进风道及与主进风道连通的进风口(403)；还设置有带动离子风扩散装置(4)移动的驱动装置(5)。

2.如权利要求1所述的纳米压印翻模机工装治具，其特征在于：所述离子风扩散装置(4)为多个与环形挡圈(2)相适配的弧形结构，离子风扩散装置(4)的上端面上设置有调整斜面(404)，使得当环形挡圈(2)抬起时离子风扩散装置(4)卡入环形挡圈(2)的下方并保持密闭；每个所述离子风扩散装置(4)均设置有一个独立的驱动装置(5)。

3.如权利要求1所述的纳米压印翻模机工装治具，其特征在于：所述驱动装置(5)为驱动气缸，驱动气缸的活动端与离子风扩散装置(4)固定连接。

4.如权利要求1所述的纳米压印翻模机工装治具，其特征在于：所述取料盘(3)与软模板配合的底面设置有密封圈(301)，所述密封圈(301)内的取料盘(3)上连接设置有第一真空管道(302)，所述密封圈(301)外侧的取料盘(3)上设置有一组真空吸盘(304)，还设置有与真空吸盘(304)连通的第二真空管道(305)。