[实用新型]一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器

权利要求书

1.一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器，包括底座(1)和固定结构(5)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有圆柱(4)，所述圆柱(4)的圆弧面滑动连接有圆盘(2)，所述底座(1)的上表面设有固定结构(5)，所述底座(1)的上表面借助固定结构(5)固定连接有电阻应变片(3)，所述固定结构(5)包括框体(51)，所述框体(51)的表面和底座(1)固定连接，所述框体(51)的内部转动连接有螺杆(52)，所述螺杆(52)的表面螺纹连接有圆环(53)，所述圆环(53)的圆弧面固定连接有连接框(54)，所述连接框(54)的底端固定连接有滑块(55)，所述框体(51)、连接框(54)的内壁均固定连接有转轴，两个转轴的圆弧面均转动连接有长杆(56)，所述长杆(56)远离螺杆(52)的一端活动连接有滑框(58)。

2.根据权利要求1所述的一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器，其特征在于：所述滑块(55)远离连接框(54)的一端插设在底座(1)内，圆环(53)借助连接框(54)、滑块(55)和底座(1)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器，其特征在于：两个所述长杆(56)的中间部位活动连接有圆条(57)，且两个长杆(56)借助圆条(57)组成字母“X”状。

4.根据权利要求1所述的一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器，其特征在于：所述电阻应变片(3)的表面和框体(51)接触，滑框(58)的长度和两个螺杆(52)的长度相一致。

5.根据权利要求1所述的一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器，其特征在于：所述圆盘(2)靠近底座(1)的一端设有辅助结构(6)，所述辅助结构(6)包括连接块(61)，所述连接块(61)的表面和圆盘(2)固定连接，所述连接块(61)的内部插设有插块(62)，所述插块(62)远离圆柱(4)的一端转动连接有长条(63)，所述连接块(61)的侧壁固定连接有两个固定条(64)，两个所述固定条(64)以长条(63)的转动轴对称分布，两个所述固定条(64)的形状均呈字母“L”形，且“L”形连接固定条(64)的短臂端固定连接有弹簧，弹簧的另一端固定连接有滑板(65)，所述滑板(65)的表面和固定条(64)滑动连接，所述底座(1)的上表面开设有矩形槽(66)，且矩形槽(66)的尺寸和连接块(61)、固定条(64)连接在一起的尺寸相一致。

6.根据权利要求1所述的一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器，其特征在于：所述圆柱(4)的圆弧面开设有凹槽，且凹槽的尺寸和插块(62)的尺寸相适配。