[实用新型]一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器有效
申请号: | 202022489926.5 | 申请日: | 2020-11-02 |
公开(公告)号: | CN212931740U | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 刘欢 | 申请(专利权)人: | 天津昂嘉科技发展有限公司 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22;G01L9/04;G01L19/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市武清区京*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 稳定性 抗压 cmp 备用 压力传感器 | ||
本实用新型提供一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器,涉及压力传感器技术领域,包括底座和固定结构,所述底座的上表面固定连接有圆柱,所述圆柱的圆弧面滑动连接有圆盘,所述底座的上表面设有固定结构,所述底座的上表面借助固定结构固定连接有电阻应变片,所述固定结构包括框体,所述框体的表面和底座固定连接,所述框体的内部转动连接有螺杆,所述螺杆的表面螺纹连接有圆环,所述圆环的圆弧面固定连接有连接框,所述连接框的底端固定连接有滑块。本实用新型,解决了传统的电阻应变片是借助胶水粘在底座上,导致在电阻应变片受损需要更换的时候极为麻烦,容易撕的不全面,导致下一块电阻应变片难以粘上去的问题。
技术领域
本实用新型涉及压力传感器技术领域,尤其涉及一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器。
背景技术
压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置;压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成;按不同的测试压力类型,压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。
压力传感器在生活中的使用越来越广泛,且适用性也极为广泛,压力传感器常常需要电阻应变片来感受信号,而传统的电阻应变片是借助胶水粘在底座上,导致在电阻应变片受损需要更换的时候极为麻烦,容易撕的不全面,导致下一块电阻应变片难以粘上去。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器,包括底座和固定结构,所述底座的上表面固定连接有圆柱,所述圆柱的圆弧面滑动连接有圆盘,所述底座的上表面设有固定结构,所述底座的上表面借助固定结构固定连接有电阻应变片,所述固定结构包括框体,所述框体的表面和底座固定连接,所述框体的内部转动连接有螺杆,所述螺杆的表面螺纹连接有圆环,所述圆环的圆弧面固定连接有连接框,所述连接框的底端固定连接有滑块,所述框体、连接框的内壁均固定连接有转轴,两个转轴的圆弧面均转动连接有长杆,所述长杆远离螺杆的一端活动连接有滑框。
优选的,所述滑块远离连接框的一端插设在底座内,且圆环借助连接框、滑块和底座滑动连接。
优选的,两个所述长杆的中间部位活动连接有圆条,且两个长杆借助圆条组成字母“X”状。
优选的,所述电阻应变片的表面和框体接触,所述滑框的长度和两个螺杆的长度相一致。
优选的,所述圆盘靠近底座的一端设有辅助结构,所述辅助结构包括连接块,所述连接块的表面和圆盘固定连接,所述连接块的内部插设有插块,所述插块远离圆柱的一端转动连接有长条,所述连接块的侧壁固定连接有两个固定条,两个所述固定条以长条的转动轴对称分布,两个所述固定条的形状均呈字母“L”形,且“L”形连接固定条的短臂端固定连接有弹簧,弹簧的另一端固定连接有滑板,所述滑板的表面和固定条滑动连接,所述底座的上表面开设有矩形槽,且矩形槽的尺寸和连接块、固定条连接在一起的尺寸相一致。
优选的,所述圆柱的圆弧面开设有凹槽,且凹槽的尺寸和插块的尺寸相适配。
与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,
1、本实用新型中,通过设置固定结构,当要更换电阻应变片的时候,先转动螺杆,螺杆将在框体表面转动,此时螺杆将带动其表面螺纹连接的圆环滑动,圆环借助连接框和滑块沿着底座表面滑动,此时圆环将朝着框体滑动,此时连接框将带动其内部的长杆转动,而连接框内部的长杆将借助圆条带动框体内部的长杆转动,此时两个长杆将彼此靠近,此时滑框将借助两个长杆的推挤而朝远离螺杆的方向移动,此时两个滑框将送开电阻应变片,此时更换上新的电阻应变片,接着反向转动螺杆以固住新的电阻应变片,解决了传统的电阻应变片是借助胶水粘在底座上,导致在电阻应变片受损需要更换的时候极为麻烦,容易撕的不全面,导致下一块电阻应变片难以粘上去的问题。
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