[实用新型]一种抛光载具及抛光机有效
| 申请号： | 202022497942.9 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN213673553U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 马金峰;唐林峰;刘兴达;周铁军 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 抛光机 | ||
【权利要求书】：
1.一种抛光载具，其特征在于，包括抛光盘(1)和设置在所述抛光盘(1)载物面的凸起(2)；所述凸起(2)的高度与待抛光晶片(3)的厚度相同，且所述凸起(2)的一侧能够与所述晶片(3)解理面的边缘相贴合。
2.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述抛光盘(1)的载物面设有凹槽(4)，所述凹槽(4)内插装有与所述晶片(3)相匹配的插件(5)；
所述插件(5)包括插块(6)和与所述插块(6)相固定的所述凸起(2)。
3.根据权利要求2所述的抛光载具，其特征在于，所述抛光盘(1)的载物面设有多个所述凹槽(4)。
4.根据权利要求2所述的抛光载具，其特征在于，所述插件(5)为与待抛光晶片(3)相匹配的多种型号。
5.根据权利要求2所述的抛光载具，其特征在于，所述抛光盘(1)的载物面分布有四个所述凹槽(4)。
6.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述抛光盘(1)为陶瓷盘。
7.根据权利要求1所述的抛光载具，其特征在于，所述晶片(3)通过蜡粘贴于所述抛光盘(1)。
8.一种抛光机，其特征在于，所述抛光机包含有如权利要求1-7任一项所述的抛光载具。
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