[实用新型]一种70对棒多晶硅还原炉底盘

权利要求书

1.一种70对棒多晶硅还原炉底盘，包括底盘法兰、底盘面板、中心尾气孔、电极孔、进料喷嘴和外圈尾气孔，所述中心尾气孔、电极孔、进料喷嘴和外圈尾气孔按设计要求分布在底盘面板上，与底盘法兰、底盘面板共同组合成还原炉底盘，其特征在于：所述中心尾气孔位于底盘面板的中心，沿底盘面板的中心向外依次设有5环电极孔，各环电极孔呈同心圆，所述进料喷嘴设有4环，各环进料喷嘴设置在相邻两环电极孔之间，所述外圈尾气孔按环形分布在底盘面板的最外圈。

2.根据权利要求1所述的一种70对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于：由内向外，各环电极孔数量分别为12、20、28、36、44。

3.根据权利要求1或2所述的一种70对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于：由内向外，各环进料喷嘴数量分别为6、12、12、16。

4.根据权利要求1所述的一种70对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于：各环的电极孔采用同圈的相邻两个电极孔搭接。

5.根据权利要求4所述的一种70对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于：相邻两个电极孔的距离在200-250mm之间调整。

6.根据权利要求4或5所述的一种70对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于：相邻两个电极孔的距离采用235mm。

7.根据权利要求1所述的一种70对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于：最外圈每个电极孔中心与还原炉的炉筒内壁之间的距离相等，为200~350mm。