[实用新型]一种70对棒多晶硅还原炉底盘

说明书

本实用新型涉及一种70对棒多晶硅还原炉底盘，包括底盘法兰、底盘面板、中心尾气孔、电极孔、进料喷嘴和外圈尾气孔，所述中心尾气孔、电极孔、进料喷嘴和外圈尾气孔按设计要求分布在底盘面板上，与底盘法兰、底盘面板共同组合成还原炉底盘，所述中心尾气孔位于底盘面板的中心，沿底盘面板的中心向外依次设有5环电极孔，各环电极孔呈同心圆，所述进料喷嘴设有4环，各环进料喷嘴设置在相邻两环电极孔之间，所述外圈尾气孔按环形分布在底盘面板的最外圈。本实用新型对还原反应过程中产生的各种热量进行整合，充分利用硅棒间的热辐射，在有效提高还原炉单炉产能的前提下，降低电耗，提升品质，提供一种稳定的大型多晶硅还原炉，从而大幅降低多晶硅生产成本。

技术领域

本实用新型涉及改良西门子法生产多晶硅技术领域，具体涉及一种70对棒多晶硅还原炉底盘。

背景技术

改良西门子法生产多晶硅是国内、国际上生产多晶硅的主流成熟工艺：以高纯三氯氢硅为原料，在1100℃左右的高纯硅芯上利用高纯氢气将其还原，硅芯在高温发热情况下进行生长单质硅，得到多晶硅棒状产品，其中还原炉是该工艺的核心设备。

目前应用最为成熟的是40对棒还原炉，以及少部分72对棒还原炉。但是40对棒的产量相对较低，电耗也相对高一些；而72对棒运行较不稳定，产品质量较差。因此为解决上述问题，有必要开发一种大型的，高产节能的还原炉，合理的进行底盘布置，充分利用热辐射，进一步降低还原炉运行电耗，提升国内多晶硅行业竞争力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供了一种70对棒多晶硅还原炉底盘，以解决现有还原炉产量低，电耗高等问题。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种70对棒多晶硅还原炉底盘，包括底盘法兰、底盘面板、中心尾气孔、电极孔、进料喷嘴和外圈尾气孔，所述中心尾气孔、电极孔、进料喷嘴和外圈尾气孔按设计要求分布在底盘面板上，与底盘法兰、底盘面板共同组合成还原炉底盘，所述中心尾气孔位于底盘面板的中心，沿底盘面板的中心向外依次设有5环电极孔，各环电极孔呈同心圆，所述进料喷嘴设有4环，各环进料喷嘴设置在相邻两环电极孔之间，所述外圈尾气孔按环形分布在底盘面板的最外圈。

优选的，由内向外，各环电极孔数量分别为12、20、28、36、44。

优选的，由内向外，各环进料喷嘴数量分别为6、12、12、16。

优选的，各环的电极孔采用同圈的相邻两个电极孔搭接。

优选的，相邻两个电极孔的距离在200-250mm之间调整。

优选的，相邻两个电极孔的距离采用235mm。

优选的，最外圈每个电极孔中心与还原炉的炉筒内壁之间的距离相等。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型对还原反应过程中产生的各种热量进行整合，充分利用硅棒间的热辐射，在有效提高还原炉单炉产能的前提下，降低电耗，提升品质，提供一种稳定的大型多晶硅还原炉，设备投资低，操作难度小，从而大幅降低多晶硅生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

其中：1、底盘法兰；2、底盘面板；3、中心尾气孔；4、电极孔；5、进料喷嘴；6、外圈尾气孔。

具体实施方式