[实用新型]一种晶圆上料搬运机构

权利要求书

1.一种晶圆上料搬运机构，其特征在于：包含机架（10），以及设置在机架（10）上的上料机构（1）和搬运机构（2）；所述上料机构（1）包含上料支架（11）和上料升降台（12），上料支架（11）上设置有上料驱动组件、侧导料板（13）和后导料板（14），上料驱动组件带动上料升降台（12）升降，上料升降台（12）用于堆叠晶圆，侧导料板（13）设置在上料升降台（12）的两侧，后导料板（14）位于上料机构的出料侧；所述搬运机构（2）包含横移驱动组件（21）、横移板（22）、吸盘升降驱动装置（23）和圆盘架（24）；所述横移驱动组件（21）带动横移板（22）横向移动，吸盘升降驱动装置（23）设置在横移板（22）上，吸盘升降驱动装置（23）带动圆盘架（24）升降，圆盘架（24）上设置有环形分布的多个吸盘（25）。

2.根据权利要求1所述的晶圆上料搬运机构，其特征在于：所述上料驱动组件包含上料驱动电机（15）、电机传动带机构（16）和升降传动带机构（17），上料驱动电机（15）通过电机传动带机构（16）带动升降传动带机构（17）运动；所述上料支架（11）上设置有竖向滑轨，上料升降台（12）与竖向滑轨滑动配合，上料升降台（12）通过皮带夹板（18）与升降传动带机构（17）配合。

3.根据权利要求1所述的晶圆上料搬运机构，其特征在于：所述上料支架（11）的顶部设置有上料感应装置（19）。

4.根据权利要求1所述的晶圆上料搬运机构，其特征在于：所述横移驱动组件（21）为电机丝杆组件，横移板（22）为横向的长形结构，吸盘升降驱动装置（23）设置在横移板（22）的一端，横移板（22）的另一端上设置有配重块（26）。

5.根据权利要求1所述的晶圆上料搬运机构，其特征在于：所述横移板（22）上还设置有横移位置感应架（27），横移位置感应架（27）用于配合横移位置传感器。

6.根据权利要求1所述的晶圆上料搬运机构，其特征在于：所述圆盘架（24）上设置有加强筋（28），加强筋（28）由圆盘架（24）与吸盘升降驱动装置（23）的连接部位延伸至圆盘架（24）的另一侧。