[实用新型]一种晶圆自动裁切机

权利要求书

1.一种晶圆自动裁切机，其特征在于：包含机架（10），以及设置在机架（10）上的上料机构（1）、搬运机构（2）、裁切机构（3）、下料机构（4）和排废机构（5）；所述上料机构（1）用于晶圆堆叠上料，搬运机构（2）将上料机构（1）上的晶圆送至裁切机构（3），裁切机构（3）对晶圆进行裁切，裁切后的晶圆由下料机构（4）送出，废料由排废机构（5）送出。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动裁切机，其特征在于：所述上料机构（1）包含上料支架（11）和上料升降台（12），上料支架（11）上设置有上料驱动组件、侧导料板（13）和后导料板（14），上料驱动组件带动上料升降台（12）升降，上料升降台（12）用于堆叠晶圆，侧导料板（13）设置在上料升降台（12）的两侧，后导料板（14）位于上料机构的出料侧。

3.根据权利要求2所述的晶圆自动裁切机，其特征在于：所述上料驱动组件包含上料驱动电机（15）、电机传动带机构（16）和升降传动带机构（17），上料驱动电机（15）通过电机传动带机构（16）带动升降传动带机构（17）运动；所述上料支架（11）上设置有竖向滑轨，上料升降台（12）与竖向滑轨滑动配合，上料升降台（12）通过皮带夹板（18）与升降传动带机构（17）配合；所述上料支架（11）的顶部设置有上料感应装置（19）。

4.根据权利要求1所述的晶圆自动裁切机，其特征在于：所述搬运机构（2）包含横移驱动组件（21）、横移板（22）、吸盘升降驱动装置（23）和圆盘架（24）；所述横移驱动组件（21）带动横移板（22）横向移动，吸盘升降驱动装置（23）设置在横移板（22）上，吸盘升降驱动装置（23）带动圆盘架（24）升降，圆盘架（24）上设置有环形分布的多个吸盘（25）。

5.根据权利要求4所述的晶圆自动裁切机，其特征在于：所述横移驱动组件（21）为电机丝杆组件，横移板（22）为横向的长形结构，吸盘升降驱动装置（23）设置在横移板（22）的一端，横移板（22）的另一端上设置有配重块（26）；所述横移板（22）上还设置有横移位置感应架（27），横移位置感应架（27）用于配合横移位置传感器；所述圆盘架（24）上设置有加强筋（28），加强筋（28）由圆盘架（24）与吸盘升降驱动装置（23）的连接部位延伸至圆盘架（24）的另一侧。

6.根据权利要求1所述的晶圆自动裁切机，其特征在于：所述裁切机构（3）包含裁切支架（31）、增压缸（32）、裁切导向架（33）、裁切上模具（34）和裁切下模具（35），增压缸（32）和裁切导向架（33）设置在裁切支架（31）的上部，裁切下模具（35）设置在裁切支架（31）的下部，裁切上模具（34）与裁切导向架（33）配合，增压缸（32）带动裁切上模具（34）运动，使其与裁切下模具（35）配合，对晶圆进行裁切。

7.根据权利要求6所述的晶圆自动裁切机，其特征在于：所述裁切支架（31）的底部和裁切下模具（35）均为中空结构，使裁切后的晶圆可以直接落在下方的下料机构（4）上；所述裁切支架（31）上还设置有裁切高度传感支架（36），裁切高度传感支架（36）与裁切导向架（33）配合。

8.根据权利要求1所述的晶圆自动裁切机，其特征在于：所述下料机构（4）包含下料支架（41）、下料升降组件（42）、翻转底座（43）和翻转台（44），下料升降组件（42）带动翻转底座（43）升降，翻转台（44）的下侧设置有翻转连接臂（45），翻转连接臂（45）的中部铰接在翻转底座（43）上，下料支架（41）上设置有翻转止挡部件（46），翻转止挡部件（46）与翻转台（44）或翻转连接臂（45）配合。

9.根据权利要求8所述的晶圆自动裁切机，其特征在于：所述翻转底座（43）与翻转台（44）或翻转连接臂（45）通过复位部件配合，翻转止挡部件（46）为滚轮。

10.根据权利要求1所述的晶圆自动裁切机，其特征在于：所述排废机构（5）包含排废支架（51）、排废横移组件（52）、夹爪气缸（53）、排废夹爪（54）和排废移动感应支架（55），排废横移组件（52）设置在排废支架（51）上，排废横移组件（52）带动夹爪气缸（53）和排废移动感应支架（55）同步移动，排废移动感应支架（55）用于安装位置传感部件，夹爪气缸（53）带动排废夹爪（54）开合。