[实用新型]一种圆柱旋转式矩形磁条磁控溅射靶有效
| 申请号： | 202022505954.1 | 申请日： | 2020-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN214300327U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 赵岩;苗润财;苗润发;苗伟伟;王健 | 申请（专利权）人： | 上海繁枫真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 | 代理人： | 成秋丽 |
| 地址： | 201507 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 圆柱 旋转 矩形 磁条 磁控溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种圆柱旋转式矩形磁条磁控溅射靶，包括靶支架(1)，其特征在于，所述靶支架(1)的一侧上部设置连接有注水口(7)，且靶支架(1)的一侧下部固定连接有电机(8)，所述靶支架(1)的另一侧设置连接有靶腔(3)，且靶支架(1)的内部固定连接有靶旋转结构(2)，所述靶腔(3)的两侧固定连接有外齿轮(4)，且靶腔(3)的内部固定连接有靶材(5)。
2.根据权利要求1所述的一种圆柱旋转式矩形磁条磁控溅射靶，其特征在于，所述注水口(7)的一侧固定连接有进水管(11)，所述进水管(11)的一侧固定连接有冷却水管(13)。
3.根据权利要求2所述的一种圆柱旋转式矩形磁条磁控溅射靶，其特征在于，所述冷却水管(13)的外侧固定连接有极靴(15)，所述极靴(15)的外侧固定连接有若干个磁铁块(14)。
4.根据权利要求1所述的一种圆柱旋转式矩形磁条磁控溅射靶，其特征在于，所述靶旋转结构(2)的一侧固定连接有第一齿轮(6)。
5.根据权利要求1所述的一种圆柱旋转式矩形磁条磁控溅射靶，其特征在于，所述电机(8)一侧固定连接有转轴(9)，所述转轴(9)的一侧固定连接有第二齿轮(10)。
6.根据权利要求2所述的一种圆柱旋转式矩形磁条磁控溅射靶，其特征在于，所述进水管(11)与冷却水管(13)之间固定连接有加固片(12)。
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