[实用新型]一种柔性薄膜封装结构有效
| 申请号： | 202022515364.7 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN213816120U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 温质康 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/29 | 分类号： | H01L23/29;H01L23/31;H01L21/56;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜 封装 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性薄膜封装结构，其特征在于，包括第一有机薄膜层，所述第一有机薄膜层的一侧面上依次层叠设有第一致密层和第一缓冲层，与所述第一有机薄膜层的一侧面相对的另一侧面上依次层叠设有第二缓冲层、第二致密层和第二有机薄膜层，所述第一缓冲层的应力值与第一致密层的应力值互为相反数，所述第二致密层的应力值与第二缓冲层的应力值互为相反数。
2.根据权利要求1所述的柔性薄膜封装结构，其特征在于，所述第一缓冲层、第二缓冲层、第一致密层和第二致密层的材质均为氮硅化合物。
3.根据权利要求1所述的柔性薄膜封装结构，其特征在于，所述第一缓冲层的厚度范围为0.2μm-0.4μm，所述第一致密层的厚度范围为0.3μm-0.6μm。
4.根据权利要求1所述的柔性薄膜封装结构，其特征在于，所述第二缓冲层的厚度范围为0.2μm-0.4μm，所述第二致密层的厚度范围为0.3μm-0.6μm。
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