[实用新型]一种柔性薄膜封装结构有效
申请号: | 202022515364.7 | 申请日: | 2020-11-04 |
公开(公告)号: | CN213816120U | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 温质康 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H01L23/31;H01L21/56;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 张明 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 薄膜 封装 结构 | ||
本实用新型涉及TFT薄膜封装技术领域,特别涉及一种柔性薄膜封装结构,包括第一有机薄膜层,第一有机薄膜层的一侧面上依次层叠设有第一致密层和第一缓冲层,与第一有机薄膜层的一侧面相对的另一侧面上依次层叠设有第二缓冲层、第二致密层和第二有机薄膜层,第一缓冲层的应力值与第一致密层的应力值互为相反数,第二致密层的应力值与第二缓冲层的应力值互为相反数,这样使得缓冲层和致密层的薄膜应力正负刚好相反,叠加在一起可以消除应力,通过降低封装薄膜的应力既可以提高柔性基板柔韧性,又可以得到阻隔水汽强和封装效果好的薄膜。
技术领域
本实用新型涉及TFT薄膜封装技术领域,特别涉及一种柔性薄膜封装结构。
背景技术
TFT薄膜封装中,柔性基板具有机械柔韧性,抗弯应力折能力强的特点,其对基板应力要求较高,往往柔性衬底与薄膜封装材质和结构差异大,导致应力集中,出现脱膜,破膜,使薄膜阻隔水汽能力下降,器件的寿命也随之下降。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种柔性薄膜封装结构。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:
一种柔性薄膜封装结构,包括第一有机薄膜层,所述第一有机薄膜层的一侧面上依次层叠设有第一致密层和第一缓冲层,与所述第一有机薄膜层的一侧面相对的另一侧面上依次层叠设有第二缓冲层、第二致密层和第二有机薄膜层,所述第一缓冲层的应力值与第一致密层的应力值互为相反数,所述第二致密层的应力值与第二缓冲层的应力值互为相反数。
本实用新型的有益效果在于:
通过在第一有机薄膜层的一侧面上依次层叠设置第一致密层和第一缓冲层,在第一有机薄膜层的一侧面相对的另一侧面上依次层叠设置第二缓冲层、第二致密层和第二有机薄膜层,第一缓冲层的应力值与第一致密层的应力值互为相反数,第二致密层的应力值与第二缓冲层的应力值互为相反数,这样使得缓冲层和致密层的薄膜应力正负刚好相反,叠加在一起可以消除应力,通过降低封装薄膜的应力既可以提高柔性基板柔韧性,又可以得到阻隔水汽强和封装效果好的薄膜。
附图说明
图1为根据本实用新型的一种柔性薄膜封装结构的结构示意图;
图2为根据本实用新型的一种柔性薄膜封装结构的中心应力分布图;
图3为根据本实用新型的一种柔性薄膜封装结构的中心应力的拟合线图;
标号说明:
1、第一有机薄膜层;2、第一致密层;3、第一缓冲层;4、第二缓冲层;5、第二致密层;6、第二有机薄膜层。
具体实施方式
为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果,以下结合实施方式并配合附图予以说明。
请参照图1,本实用新型提供的技术方案:
一种柔性薄膜封装结构,包括第一有机薄膜层,所述第一有机薄膜层的一侧面上依次层叠设有第一致密层和第一缓冲层,与所述第一有机薄膜层的一侧面相对的另一侧面上依次层叠设有第二缓冲层、第二致密层和第二有机薄膜层,所述第一缓冲层的应力值与第一致密层的应力值互为相反数,所述第二致密层的应力值与第二缓冲层的应力值互为相反数。
从上述描述可知,本实用新型的有益效果在于:
通过在第一有机薄膜层的一侧面上依次层叠设置第一致密层和第一缓冲层,在第一有机薄膜层的一侧面相对的另一侧面上依次层叠设置第二缓冲层、第二致密层和第二有机薄膜层,第一缓冲层的应力值与第一致密层的应力值互为相反数,第二致密层的应力值与第二缓冲层的应力值互为相反数,这样使得缓冲层和致密层的薄膜应力正负刚好相反,叠加在一起可以消除应力,通过降低封装薄膜的应力既可以提高柔性基板柔韧性,又可以得到阻隔水汽强和封装效果好的薄膜。
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