[实用新型]一种晶圆裸眼检视装置

权利要求书

1.一种晶圆裸眼检视装置，其特征在于，包括暗室和设置在暗室内的晶圆承载移动装置(6)，所述暗室一侧上开有观察窗，所述暗室内顶端上设有一冷白色LED光源(2)和多个防静电离子风扇(3)，所述晶圆承载移动装置(6)内设有放置晶圆的凹槽。

2.根据权利要求1所述晶圆裸眼检视装置，其特征在于，所述暗室由前挡板(9)、后挡板(10)、两个侧挡板(4)和顶盖(1)组成，所述观察窗设置在其中一个侧挡板(4)上，所述冷白色LED光源(2)和多个防静电离子风扇(3)均设置在顶盖上。

3.根据权利要求2所述晶圆裸眼检视装置，其特征在于，所述前挡板(9)、后挡板(10)、两个侧挡板(4)以及顶盖(1)均为黑色抗静电瓦楞板。

4.根据权利要求1所述晶圆裸眼检视装置，其特征在于，所述暗室设置在支架(8)上，所述支架(8)上设置有滑轨(5)，所述晶圆承载移动装置(6)安装在滑轨(5)上，且所述晶圆承载移动装置(6)底端安装有把手(7)。

5.根据权利要求1所述晶圆裸眼检视装置，其特征在于，所述前挡板(9)的高度小于后挡板(10)的高度，所述顶盖(1)自与后挡板(10)连接一端向与前挡板(9)连接一端由高向低设置。

6.根据权利要求5所述晶圆裸眼检视装置，其特征在于，所述顶盖(1)与水平面间形成15-20°的夹角。