[实用新型]一种晶圆裸眼检视装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆裸眼检视装置，包括晶圆承载移动装置和支架，支架上端设置有滑轨；晶圆承载移动装置安装在滑轨上；晶圆承载移动装置下端安装有把手；晶圆承载移动装置外部设置有由前挡板，后挡板，侧挡板以及顶盖组成的观察箱；一侧侧挡板上开有观察窗；顶盖内侧安装有LED光源和多个防静电离子风扇。通过LED光源以及防静电离子风扇，营造一个单一光源的暗室和无微粒、无静电的环境；人员通过观察窗探入暗室内，对晶圆承载移动装置上的晶圆进行人工检视，在暗室环境下，单一的光源在晶圆表面产生漫反射，不会影响晶圆的检验，大大提高晶圆的检验质量和检验速度。

技术领域

本实用新型涉及半导体检视设备技术领域，是用于一种晶圆裸眼检视装置。

背景技术

晶圆是生产集成电路的载体，各种不同的电路原件结构形成有特定电性功能的半导体产品。在半导体测试之前，需要进行外观检验，以确保晶圆上半导体产品的可用性。

无尘室环境检测下，照明灯的光线照射晶圆会产生反光现象，从而在晶圆表面形成光斑，从而使检验人员不易发现晶圆表面的异常(刮伤，脏污，破损等)，无尘室中的微粒会掉落至晶圆表面，影响测试结果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种晶圆裸眼检视装置，解决现有晶圆检视方法存在的问题。

一种晶圆裸眼检视装置，包括暗室和设置在暗室内的晶圆承载移动装置，所述暗室一侧上开有观察窗，所述暗室内顶端上设有一冷白色LED光源和多个防静电离子风扇，所述晶圆承载移动装置内设有放置晶圆的凹槽。

在本实用新型的一个实施例中，所述暗室由前挡板、后挡板、两个侧挡板和顶盖组成，所述观察窗设置在其中一个侧挡板上，所述冷白色LED光源和多个防静电离子风扇均设置在顶盖上。

在本实用新型的一个实施例中，所述前挡板、后挡板、两个侧挡板以及顶盖均为黑色抗静电瓦楞板。

在本实用新型的一个实施例中，所述暗室设置在支架上，所述支架上设置有滑轨，所述晶圆承载移动装置安装在滑轨上，且所述晶圆承载移动装置底端安装有把手。

在本实用新型的一个实施例中，所述前挡板的高度小于后挡板的高度，所述顶盖自与后挡板连接一端向与前挡板连接一端由高向低设置。

在本实用新型的一个实施例中，所述顶盖与水平面间形成15-20°的夹角。

本实用新型产生的有益效果是：通过LED光源以及防静电离子风扇，营造一个单一光源的暗室和无微粒、无静电的环境；人员通过观察窗探入暗室内，对晶圆承载移动装置上的晶圆进行人工检视，在暗室环境下，单一的光源在晶圆表面产生漫反射，不会影响晶圆的检验，大大提高晶圆的检验质量和检验速度。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的主视图；

图3是本实用新型的侧视图

图中：1-顶盖；2-LED光源；3-防静电离子风扇；4-侧挡板；5滑轨；6晶圆承载移动装置；7-把手；8-支架；9-前挡板；10-后挡板。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。