[实用新型]一种磷化铟多晶装料辅助工具有效
申请号: | 202022522440.7 | 申请日: | 2020-11-04 |
公开(公告)号: | CN214193523U | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 李勇;曾志勇 | 申请(专利权)人: | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/40 | 分类号: | C30B29/40;C30B11/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 张晨 |
地址: | 404040 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磷化 多晶 装料 辅助工具 | ||
1.一种磷化铟多晶装料辅助工具,其特征在于:包括用于隔断石英安瓿瓶中红磷区与膜片区的挡块,挡块包括小径部和大径部,小径部与大径部一体成型,小径部的直径小于膜片区的最小尺寸,大径部的直径大于膜片区的最大尺寸,大径部固定连接有支撑杆,支撑杆的长度大于石英安瓿瓶的长度。
2.根据权利要求1所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具,其特征在于:所述支撑杆的中部套设有物料通道,物料通道与支撑杆之间固定连接有连接杆。
3.根据权利要求2所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具,其特征在于:所述物料通道一端的直径小于石英安瓿瓶的中部细颈直径,另一端的直径大于石英安瓿瓶的最大直径。
4.根据权利要求3所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具,其特征在于:所述支撑杆远离挡块的一端固定连接有把手。
5.根据权利要求4所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具,其特征在于:所述连接杆有三个且均为圆柱形。
6.根据权利要求5所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具,其特征在于:所述把手上设置有防滑纹。
7.根据权利要求6所述的一种磷化铟多晶装料辅助工具,其特征在于:所述物料通道与挡块之间的支撑杆上设置有刻度线。
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