[实用新型]一种磷化铟多晶装料辅助工具有效
申请号: | 202022522440.7 | 申请日: | 2020-11-04 |
公开(公告)号: | CN214193523U | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 李勇;曾志勇 | 申请(专利权)人: | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/40 | 分类号: | C30B29/40;C30B11/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 张晨 |
地址: | 404040 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磷化 多晶 装料 辅助工具 | ||
本实用新型涉及单晶生长技术领域,公开了一种磷化铟多晶装料辅助工具,包括用于隔断石英安瓿瓶中红磷区与膜片区的挡块,挡块包括小径部和大径部,小径部的直径小于膜片区的最小尺寸,大径部的直径大于膜片区的最大尺寸,大径部固定连接有支撑杆,支撑杆的长度大于石英安瓿瓶的长度。本实用新型能够在进行装料过程中,膜片粘上红磷,膜片测压不准确,造成裂管或炸管的问题得到解决。
技术领域
本实用新型涉及单晶生长技术领域,尤其涉及一种磷化铟多晶装料辅助工具。
背景技术
在使用水平布里奇曼法合成磷化铟多晶时,为了稳定高温区与低温区的温场,将石英安瓿瓶设计成两端大,中间小的形状,这样虽然解决了高低温区的稳定,但同时给装料也带来了困难,由于石英安瓿瓶的中间细颈处太小,石英安瓿瓶尾部区域在装红磷时,只能将石英安瓿瓶竖起,将红磷从口部装入,这样料管尾部用来反映内外压力差的膜片就会粘上红磷,在升温阶段,膜片测量内部压力就会不准确,导致裂管或炸管;另外膜片是可以重复使用的,如果在装料时粘上红磷,膜片就会损坏,无法进行重复使用,造成生产成本升高。现有技术中还没有相关的技术手段来解决这一问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的目的是提供一种磷化铟多晶装料辅助工具,在进行装料过程中,膜片粘上红磷,膜片测压不准确,造成裂管或炸管的问题得到解决。
本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题:一种磷化铟多晶装料辅助工具,包括用于隔断石英安瓿瓶中红磷区与膜片区的挡块,挡块包括小径部和大径部,小径部与大径部一体成型,小径部的直径小于膜片区的最小尺寸,大径部的直径大于膜片区的最大尺寸,大径部固定连接有支撑杆,支撑杆的长度大于石英安瓿瓶的长度。挡块贴合膜片区能挡住红磷,且不会发生卡管的事故,支撑杆可以防止因红磷过重导致挡块变形卡管。
进一步,所述支撑杆的中部套设有物料通道,物料通道与支撑杆之间固定连接有连接杆,连接杆对物料通道起到支撑作用。
进一步,所述物料通道一端的直径小于石英安瓿瓶的中部细颈直径,另一端的直径大于石英安瓿瓶的最大直径,在装料过程中,红磷直接通过物料通道进入到红磷区,避免石英安瓿瓶的中部细颈壁粘上红磷。
进一步,所述支撑杆远离挡块的一端固定连接有把手,方便使用者拿取辅助工具。
进一步,所述连接杆有三个且均为圆柱形,三个连接杆使得对物料通道的支撑和固定效果更好,圆柱形的设置,使得装料时,红磷可从圆柱形连接杆上滑出,避免红磷沉积在连接杆上。
进一步,所述把手上设置有防滑纹;当用手握住把手时,可以起到防滑的作用。
进一步,所述物料通道与挡块之间的支撑杆上设置有刻度线,在红磷装料过程中,可以通过观察刻度线来确定加入红磷的量。
本实用新型的有益效果:
(1)本实用新型通过小径部和大径部组成的挡块,可以隔离膜片区,防止膜片粘上红磷而导致膜片测压不准确,裂管或炸管。
(2)本实用新型通过支撑杆的设置,可以防止因红磷过重导致挡块变形卡管。
(3)本实用新型通过物料通道的设置,在装料过程中,防止石英安瓿瓶的中部细颈壁粘上红磷,影响后续的工序。
(4)本实用新型中刻度线的设置使得加入红磷的量更加准确。
附图说明
图1是本实用新型一种磷化铟多晶装料辅助工具的结构示意图;
图2是本实用新型的侧视图;
图3是本实用新型的使用状态图;
图4是石英安瓿瓶的侧视图;
图5是本实用新型的剖视图;
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