[实用新型]一种自动光学检测系统有效

专利信息
申请号: 202022524481.X 申请日: 2020-11-04
公开(公告)号: CN213749564U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 杨浩;杨富可;张嘉修 申请(专利权)人: 重庆康佳光电技术研究院有限公司
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/88;G01R1/04;G01R31/265
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 熊永强
地址: 402760 重庆市璧*** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 光学 检测 系统
【权利要求书】:

1.一种自动光学检测系统,其特征在于,包括:第一图像获取设备、透明支撑膜和第二图像获取设备;

所述第一图像获取设备和所述第二图像获取设备分别设置于所述透明支撑膜相对的两侧,所述第一图像获取设备的镜头和所述第二图像获取设备的镜头分别朝向所述透明支撑膜;

所述透明支撑膜用于放置待测芯片,所述第一图像获取设备用于获取所述待测芯片背面的图像,所述第二图像获取设备用于获取所述待测芯片正面的图像。

2.根据权利要求1所述的自动光学检测系统,其特征在于,还包括:第一光源设备和第一半反射镜;

所述第一半反射镜设置于所述第一图像获取设备的镜头和所述透明支撑膜之间,所述第一半反射镜的反射面朝向所述透明支撑膜,所述第一半反射镜的反射面和所述透明支撑膜呈45度夹角;

所述第一光源设备的出光面朝向所述第一半反射镜的反射面,所述第一光源设备的出光面和所述第一图像获取设备的镜头所在平面相垂直。

3.根据权利要求2所述的自动光学检测系统,其特征在于,所述第一光源设备包括单色发光二极管光源。

4.根据权利要求2所述的自动光学检测系统,其特征在于,所述第一光源设备射出光束的亮度可调。

5.根据权利要求2所述的自动光学检测系统,其特征在于,还包括:第一匀光板;所述第一匀光板设置在所述第一光源设备的光束路径周围。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的自动光学检测系统,其特征在于,还包括:夹具;所述夹具包括第一弧形卡夹和第二弧卡夹;

所述第一弧形卡夹和所述第二弧形卡夹分别固定在所述透明支撑膜的两侧,且所述第一弧形卡夹和所述第二弧形卡夹围合成圆形区域,以使所述透明支撑膜呈圆形。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的自动光学检测系统,其特征在于,还包括:第二光源设备和第二半反射镜;

所述第二半反射镜设置于所述第二图像获取设备的镜头和所述透明支撑膜之间,所述第二半反射镜的反射面朝向所述透明支撑膜,所述第二半反射镜的反射面和所述透明支撑膜呈45度夹角;

所述第二光源设备的出光面朝向所述第二半反射镜的反射面,所述第二光源设备的出光面和所述第二图像获取设备的镜头所在平面相垂直。

8.根据权利要求7所述的自动光学检测系统,其特征在于,所述第二光源设备包括三色发光二极管光源。

9.根据权利要求7所述的自动光学检测系统,其特征在于,还包括:第二匀光板;所述第二匀光板设置在所述第二光源设备的光束路径周围。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的自动光学检测系统,其特征在于,还包括:环形光源设备;

所述环形光源设备设置在所述透明支撑膜和所述第二图像获取设备之间,所述环形光源设备的出光面朝向所述透明支撑膜。

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