[实用新型]一种自动光学检测系统

说明书

本申请公开了一种自动光学检测系统，包括第一图像获取设备、透明支撑膜和第二图像获取设备；第一图像获取设备和第二图像获取设备分别设置于透明支撑膜相对的两侧，第一图像获取设备的镜头和第二图像获取设备的镜头分别朝向透明支撑膜。本申请中，通过在透明支撑膜的上方和下方分别设置图像获取设备，当待测芯片放置于透明支撑膜上之后，第一图像获取设备和第二图像获取设备可以分别获取芯片背面的图像和正面的图像，根据背面的图像可以完成外观检测，根据正面的图像可以完成光电性能检测。由此，实现了一个工序采集芯片两面的图像，进而可以达到一次性检测芯片两面的目的，减少了生产工序，加快了生产节拍，节约了生产资源。

技术领域

本申请涉及自动化检测技术领域，尤其涉及一种自动光学检测系统。

背景技术

晶元(wafer)，也称磊晶、晶圆、蓝宝石衬底或外延片，是生产集成电路所用的载体，多用于显示照明行业，尤其是发光二极管(light-emitting diode，LED)显示行业，会使用晶元来生产LED芯片。

使用晶元生产LED芯片时，为提高产品良率，对LED芯片的正面进行光电性能检测以及对背面进行外观检测是必不可少的。具体的，在加工芯片过程中，倒模完成后，先对芯片的背面进行外观检测，外观检测完成后进行一次分选。然后再对芯片的正面进行光电性能检测，随后再进行一次分选。

然而，上述对芯片的正面和背面进行检测方式，需要进行两次分选，严重影响生产进程，浪费生产资源。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种自动光学检测系统，旨在解决对芯片的正面和背面进行检测时，需要分两次进行检测，从而导致需要两次分选，影响生产进程，浪费生产资源。

本申请提供的自动光学检测系统，包括：第一图像获取设备、透明支撑膜和第二图像获取设备；第一图像获取设备和第二图像获取设备分别设置于透明支撑膜相对的两侧，第一图像获取设备的镜头和第二图像获取设备的镜头分别朝向透明支撑膜；透明支撑膜用于将放置待测芯片，第一图像获取设备用于获取待测芯片背面的图像，第二图像获取设备用于获取待测芯片正面的图像。

该实施方式中，通过在透明支撑膜的上方和下方分别设置图像获取设备，当待测芯片放置于透明支撑膜上之后，第一图像获取设备和第二图像获取设备可以分别获取芯片背面的图像和正面的图像，根据背面的图像可以完成外观检测，根据正面的图像可以完成光电性能检测。由此，实现了一个工序采集芯片两面的图像，进而可以达到一次性检测芯片两面的目的，减少了生产工序，加快了生产节拍，节约了生产资源。

可选的，自动光学检测系统还包括：第一光源设备和第一半反射镜；第一半反射镜设置于第一图像获取设备的镜头和透明支撑膜之间，第一半反射镜的反射面朝向透明支撑膜，第一半反射镜的反射面和透明支撑膜呈45度夹角；第一光源设备的出光面朝向第一半反射镜的反射面，第一光源设备的出光面和第一图像获取设备的镜头所在平面相垂直。第一光源设备射出的光束经过第一半反射镜反射后，垂直射向透明支撑膜，从而将芯片的背面照亮，为第一图像获取设备提供光源，使得获取的图像更加清晰，以提高利用芯片背面图像检测外观时的精确程度。

可选的，第一光源设备包括单色发光二极管光源。因芯片的背面的外观检测仅需要检测灰阶差异即可，因此设置单色发光二极管光源，在获取芯片背面的图像时，提供单色光源既可满足需求，还可以节约能源。

可选的，第一光源设备射出光束的亮度可调。第一光源设备射出的光束亮度可调，可以使得第一光源设备既能为第一图像获取设备拍照时提供光源，还可以为第二图像获取设备拍照时提供背景光源，以确保第二图像获取设备拍照时的背光亮度，提升获取的芯片正面的图像的清晰度，提高正面的光电性能的检测精度。

可选的，自动光学检测系统还包括：第一匀光板；第一匀光板设置在第一光源设备的光束路径周围。第一匀光板可以提升第一光源设备射出光束的均匀程度，降低光束照射在芯片的背面时，可能出现亮点或暗点的概率。