[实用新型]吸嘴装置有效

专利信息
申请号: 202022524719.9 申请日: 2020-11-04
公开(公告)号: CN213905334U 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 刘松峰;王松涛;马季;王永军;王江坤 申请(专利权)人: 歌尔微电子有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 张娓娓;袁文婷
地址: 266000 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 装置
【权利要求书】:

1.一种吸嘴装置,用于吸附底部边缘小的芯片,其特征在于,包括矩形吸附面,在所述矩形吸附面的边缘设置有至少三个吸附结构,其中,

所述吸附结构包括吸附凸起和设置在所述吸附凸起上的吸孔,其中,所述吸孔用于吸附所述芯片。

2.如权利要求1所述的吸嘴装置,其特征在于,

当在所述矩形吸附面的边缘设置有三个吸附结构时,其中一个吸附结构中的吸孔用于吸附所述芯片顶部的中间位置;

另外两个吸附结构的吸孔分别用于吸附所述芯片的相对的两侧。

3.如权利要求1所述的吸嘴装置,其特征在于,

当在所述矩形吸附面的边缘设置有三个吸附结构时,在所述矩形吸附面的未设置有所述吸附结构的边缘设置有支撑柱;其中,

所述支撑柱与所述吸附凸起的高度相同。

4.如权利要求3所述的吸嘴装置,其特征在于,

所述吸附凸起的高度为0.07mm±0.01mm;

所述支撑柱的高度为0.07mm±0.01mm。

5.如权利要求1所述的吸嘴装置,其特征在于,

所述吸孔的形状为椭圆形、圆形或者多边形。

6.如权利要求5所述的吸嘴装置,其特征在于,

当所述吸孔为椭圆形吸孔时,

所述吸孔的长轴为0.25mm±0.01mm,所述吸孔的短轴为0.10mm±0.01mm。

7.如权利要求3所述的吸嘴装置,其特征在于,

所述支撑柱的横截面的形状为圆形或者矩形;

所述支撑柱的横截面的宽度为0.45mm±0.01mm。

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