[实用新型]显影蚀刻喷淋装置

权利要求书

1.一种显影蚀刻喷淋装置，其特征在于，包括：二流体喷管组件和摇摆组件，所述二流体喷管组件包括若干条二流体喷管，所述二流体喷管组件固定在所述摇摆组件上，由所述摇摆组件带动摇摆，所述二流体喷管组件在待加工PCB板工件的上下或前后两侧排布，所述二流体喷管的摇摆方向或摇摆角度根据所述待加工PCB板工件的不同输送方式以预设方向或角度进行设置。

2.根据权利要求1所述的显影蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述摇摆组件包括：摇摆架及摇摆驱动机构，所述二流体喷管组件固定在所述摇摆架上，所述摇摆驱动机构包括：摇摆马达、偏心轮、摇摆轴、拉杆，所述拉杆与所述摇摆架连接，所述摇摆轴与所述摇摆马达驱动连接，所述偏心轮固定在所述摇摆轴上，且与所述拉杆驱动连接，通过所述拉杆带动所述摇摆架，进而带动所述二流体喷管组件摇摆。

3.根据权利要求1所述的显影蚀刻喷淋装置，其特征在于，若干条所述二流体喷管的每条二流体喷管连接进气管路和进液管路，其中：

所述进气管路包括：依次连接的进气主管、进气连接管、进气软管，所述进气软管连接所述二流体喷管；

所述进液管路包括：依次连接的进液主管、进液连接管、进液软管，所述进液软管连接所述二流体喷管。

4.根据权利要求3所述的显影蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述二流体喷管上设有若干二流体喷嘴，所述二流体喷管中混合的气液产生的精细喷雾从所述二流体喷嘴中射出。

5.根据权利要求3所述的显影蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述二流体喷管为水平设置，所述待加工PCB板工件的上板面配置有吸刀装置。

6.根据权利要求3所述的显影蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述二流体喷管为铅锤立起姿势或倾斜预设角度设置。

7.根据权利要求1所述的显影蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述二流体喷管组件在所述待加工PCB板工件的上下或前后两侧对称排布。

8.根据权利要求1所述的显影蚀刻喷淋装置，其特征在于，所述显影蚀刻喷淋装置还包括：工件载体圆盘，所述工件载体圆盘设置在所述二流体喷管组件之间并用于固定所述待加工PCB板工件。