[实用新型]利用多聚焦调节部的光束钻孔装置有效
| 申请号： | 202022527001.5 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN214264355U | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 成奎栋 | 申请（专利权）人： | 伊欧激光科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/046;B23K26/082;B23K26/70 |
| 代理公司： | 苏州科仁专利代理事务所(特殊普通合伙) 32301 | 代理人： | 郭杨 |
| 地址： | 215299 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 聚焦 调节 光束 钻孔 装置 | ||
1.一种利用多聚焦调节部的光束钻孔装置，包括光源（120）、改变所述光源（120）传递所形成的光路径的光调制器(130)，其特征在于：还包括改变所述光调制器（130）传递的光聚焦距离的多聚焦调节部（140）、从所述多聚焦调节部（140）向对象物移动的扫描部（150）、具有多层结构的对象体（ob）、支撑所述对象体（ob）的XY平台（160）。
2.根据权利要求1所述的利用多聚焦调节部的光束钻孔装置，其特征在于：所述对象体（ob）包括第一层（1）和第二层（2），所述第一层（1）和所述第二层（2）由上至下依次排列，所述第一层（1）设置于所述第二层（2）上方，所述第一层（1）为铜箔层，所述第二层（2）为聚酰亚胺层。
3.根据权利要求2所述的利用多聚焦调节部的光束钻孔装置，其特征在于：所述多聚焦调节部（140）包括具有聚焦光束的第一扩束器（141）、具有不聚焦光束的第二扩束器（142）。
4.根据权利要求3所述的利用多聚焦调节部的光束钻孔装置，其特征在于：还包括用于控制所述光源（120）、所述光调制器（130）、所述扫描部（150）、所述XY平台（160）、控制光束加工所述对象体（ob）的控制单元（110），所述控制单元（110）控制所述聚焦光束加工所述第一层（1），控制不聚焦光束来加工所述第二层（2）。
5.根据权利要求4所述的利用多聚焦调节部的光束钻孔装置，其特征在于：所述XY平台（160）设置于对象体（ob）下方，所述控制单元（110）控制所述XY平台（160）和所述扫描部（150）加工成用于去除所述第一层（1）的闭环形态。
6.根据权利要求1所述的利用多聚焦调节部的光束钻孔装置，其特征在于：所述光调制器（130）设置于所述多聚焦调节部（140）前，所述光调制器（130）为声光调制器。
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