[实用新型]一种半导体检测用智能激光在线测量仪有效
| 申请号： | 202022532441.X | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN214585834U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 高宏玲;翟腾;艾文思;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 中国软件评测中心（工业和信息化部软件与集成电路促进中心） |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 广东灵顿知识产权代理事务所(普通合伙) 44558 | 代理人： | 陈丹萍 |
| 地址： | 100000 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 检测 智能 激光 在线 测量仪 | ||
1.一种半导体检测用智能激光在线测量仪，包括箱体(1)和升降板(7)，其特征在于：所述箱体(1)右侧的上端固定安装有伺服电机(11)，所述伺服电机(11)的输出端转动连接有转杆(10)，所述转杆(10)的顶部固定连接有密封盖板(4)，所述箱体(1)内腔的底部固定连接有滑杆(15)，所述滑杆(15)外表面的左右两侧均活动连接有活动块(14)，所述活动块(14)的顶部均活动连接有活动杆(16)，且活动杆(16)的交叉处活动连接，所述活动杆(16)左右两侧的内侧均活动连接有电动伸缩杆(13)，所述升降板(7)下表面的左右两侧均开设有滑槽(8)，所述滑槽(8)内腔的外侧均滑动连接有滑块(12)，所述滑块(12)的顶部均与活动杆(16)的顶部活动连接，所述升降板(7)上表面的中端固定连接有测量仪本体(9)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用智能激光在线测量仪，其特征在于：所述箱体(1)右侧的下端固定连接有电池盒(6)，所述电池盒(6)的内腔固定连接有蓄电池(17)，所述蓄电池(17)右侧的中端开设有充电孔(18)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体检测用智能激光在线测量仪，其特征在于：所述箱体(1)右侧的上端固定连接有壳体(5)，且壳体(5)右侧的中端开设有散热孔。
4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用智能激光在线测量仪，其特征在于：所述箱体(1)左侧的上端固定连接有推杆(3)，且推杆(3)上端的外表面套设有防滑套。
5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用智能激光在线测量仪，其特征在于：所述箱体(1)下表面的左右两侧均活动连接有自刹万向轮(2)，且自刹万向轮(2)的外表面套设有耐磨圈。
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