[实用新型]一种半导体检测用智能激光在线测量仪

说明书

本实用新型公开了一种半导体检测用智能激光在线测量仪，包括箱体和升降板，所述箱体右侧的上端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端转动连接有转杆，所述转杆的顶部固定连接有密封盖板，所述箱体内腔的底部固定连接有滑杆，所述滑杆外表面的左右两侧均活动连接有活动块，所述活动块的顶部均活动连接有活动杆，且活动杆的交叉处活动连接，活动杆左右两侧的内侧均活动连接有电动伸缩杆，升降板下表面的左右两侧均开设有滑槽。本实用新型设置了电动伸缩杆、活动块、滑杆和活动杆，达到了防尘防护的目的，解决了现有的半导体检测用智能激光在线测量仪不具备防尘防护功能，导致其经常暴露在外而容易积尘和被碰撞损坏的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体为一种半导体检测用智能激光在线测量仪。

背景技术

半导体器件生产中，从半导体单晶片到制成最终成品，须经历数十甚至上百道工序，为了确保产品性能合格、稳定可靠，并有高的成品率，根据各种产品的生产情况，对所有工艺步骤都要有严格的具体要求，其中涉及到半导体检测用智能激光在线测量仪，而现有的半导体检测用智能激光在线测量仪不具备防尘防护功能，导致其经常暴露在外而容易积尘和被碰撞损坏，为此，我们提出一种半导体检测用智能激光在线测量仪。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体检测用智能激光在线测量仪，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体检测用智能激光在线测量仪，包括箱体和升降板，所述箱体右侧的上端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端转动连接有转杆，所述转杆的顶部固定连接有密封盖板，所述箱体内腔的底部固定连接有滑杆，所述滑杆外表面的左右两侧均活动连接有活动块，所述活动块的顶部均活动连接有活动杆，且活动杆的交叉处活动连接，所述活动杆左右两侧的内侧均活动连接有电动伸缩杆，所述升降板下表面的左右两侧均开设有滑槽，所述滑槽内腔的外侧均滑动连接有滑块，所述滑块的顶部均与活动杆的顶部活动连接，所述升降板上表面的中端固定连接有测量仪本体。

优选的，所述箱体右侧的下端固定连接有电池盒，所述电池盒的内腔固定连接有蓄电池，所述蓄电池右侧的中端开设有充电孔。

优选的，所述箱体右侧的上端固定连接有壳体，且壳体右侧的中端开设有散热孔。

优选的，所述箱体左侧的上端固定连接有推杆，且推杆上端的外表面套设有防滑套。

优选的，所述箱体下表面的左右两侧均活动连接有自刹万向轮，且自刹万向轮的外表面套设有耐磨圈。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型设置了电动伸缩杆、活动块、滑杆和活动杆，当设备需要进行测量工作时，人们通过推杆可移动设备，通过外置控制器开启伺服电机工作，伺服电机带动转杆转动，转杆带动密封盖板转动，密封盖板解除箱体的密封状态，通过外置控制器开启电动伸缩杆伸缩，电动伸缩杆带动活动杆顶部和底部向内侧运动，活动杆的底部带动活动块在滑杆的外表面向内侧滑动，活动杆的顶部带动滑块在滑槽的内腔向内侧滑动，迫使升降板向上运动，升降板带动测量仪本体上升伸出箱体进行测量工作，不需要工作时就保持原始状态，有箱体的保护和密封盖板的密封，达到了防尘防护的目的，解决了现有的半导体检测用智能激光在线测量仪不具备防尘防护功能，导致其经常暴露在外而容易积尘和被碰撞损坏的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型箱体剖视结构示意图；

图3为本实用新型蓄电池结构示意图。

图中：1、箱体；2、自刹万向轮；3、推杆；4、密封盖板；5、壳体；6、电池盒；7、升降板；8、滑槽；9、测量仪本体；10、转杆； 11、伺服电机；12、滑块；13、电动伸缩杆；14、活动块；15、滑杆； 16、活动杆；17、蓄电池；18、充电孔。