[实用新型]定向凝固晶体生长设备有效
| 申请号： | 202022533733.5 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN213772272U | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 乔晓杰;张海新 | 申请（专利权）人： | 山东晶升电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 刘晓明 |
| 地址： | 250000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 定向 凝固 晶体生长 设备 | ||
【权利要求书】：
1.定向凝固晶体生长设备，其特征在于：包括壳体，所述的壳体内底部设有低温加热器，低温加热器上侧设有高温加热器，所述的壳体顶部设有上盖，上盖上设有压钳，上盖底部设有竖向的石英管，所述的高温加热器中设有坩埚，坩埚底部置于坩埚托盘中，坩埚托盘底部与坩埚支撑杆顶部固定连接，坩埚支撑杆下端部伸出壳体且在下端部连接旋转密封磁流体，旋转密封磁流体底部和左侧旋转电机的电机轴上设有横向的同步带轮，同步带轮上连接有同步带，旋转密封磁流体上侧的坩埚支撑杆一侧与升降机构相连接，所述的坩埚托盘底部连接热电偶，热电偶向下延伸至旋转磁流体并从下方的同步带轮中心位置伸出，壳体还与密封机构相连接。
2.根据权利要求1所述的定向凝固晶体生长设备，其特征在于：所述的密封机构包括设于坩埚支撑杆与壳体底板之间的密封转接件，密封转接件一侧通过真空管路与真空泵相连接。
3.根据权利要求1所述的定向凝固晶体生长设备，其特征在于：所述的低温加热器和高温加热器之间设有散热区。
4.根据权利要求1所述的定向凝固晶体生长设备，其特征在于：所述的壳体外侧通过连接块与框架固定连接。
5.根据权利要求1所述的定向凝固晶体生长设备，其特征在于：所述的上盖与壳体之间设有密封胶圈。
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