[实用新型]定向凝固晶体生长设备有效
申请号: | 202022533733.5 | 申请日: | 2020-11-05 |
公开(公告)号: | CN213772272U | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 乔晓杰;张海新 | 申请(专利权)人: | 山东晶升电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 刘晓明 |
地址: | 250000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 定向 凝固 晶体生长 设备 | ||
本实用新型涉及晶体生长领域,尤其涉及一种定向凝固晶体生长设备,降低了产生事故的风险,简化了操作步骤,节省了材料成本。包括壳体,所述的壳体内底部设有低温加热器,低温加热器上侧设有高温加热器,所述的壳体顶部设有上盖,所述的高温加热器中设有坩埚,坩埚底部置于坩埚托盘中,坩埚托盘底部与坩埚支撑杆顶部固定连接,坩埚支撑杆下端部伸出壳体且在下端部连接旋转密封磁流体,旋转密封磁流体底部和左侧旋转电机的电机轴上设有横向的同步带轮,同步带轮上连接有同步带,旋转密封磁流体上侧的坩埚支撑杆一侧与升降机构相连接,坩埚托盘底部连接热电偶,热电偶向下延伸至同步带轮中心位置伸出。它操作简单,使用方便,适用于多种场所。
技术领域
本实用新型涉及晶体生产设备领域,具体为一种定向凝固晶体生长设备。
背景技术
现有晶体下降生长炉,大多是采用石英坩埚,原料放到石英坩埚内,先对石英坩埚抽真空,然后再用氢氧焰高温把石英坩埚口融化密封住,每次生长完晶体,需要把石英坩埚打碎取出晶体。石英坩埚装完原料密封抽真空后把坩埚密封的方式,由于装原料坩埚完全密封,升温过程中密封坩埚内气压升高,会容易出现爆管情况,一但坩埚破裂,容易与大气接处,燃烧,十分危险,并且容易损坏晶体生长设备。
由于大多数材料生长过程种需要在无氧气氛下进行,所以需要对放置材料坩埚完全密封,并且耐高温,经过大量实验研究发明了定向凝固晶体生长方法,此种方法对放置原料的坩埚不用完全密封,在坩埚外部再增加一层密封装置,由于放置原料的坩埚需要同时升降与旋转,所以完全密封难度更大。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种定向凝固晶体生长设备,解决了坩埚下降法生长晶体的设备,每次工艺时需要对材料的坩埚密封步骤,降低了实验或者生产中产生事故的风险,简化了操作步骤的同时也节省了材料成本。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种定向凝固晶体生长设备,其特征在于:包括壳体,所述的壳体内底部设有低温加热器,低温加热器上侧设有高温加热器,所述的壳体顶部设有上盖,上盖上设有压钳,上盖底部设有竖向的石英管,所述的高温加热器中设有坩埚,坩埚底部置于坩埚托盘中,坩埚托盘底部与坩埚支撑杆顶部固定连接,坩埚支撑杆下端部伸出壳体且在下端部连接旋转密封磁流体,旋转密封磁流体底部和左侧旋转电机的电机轴上设有横向的同步带轮,同步带轮上连接有同步带,旋转密封磁流体上侧的坩埚支撑杆一侧与升降机构相连接,所述的坩埚托盘底部连接热电偶,热电偶向下延伸至旋转磁流体并从下方的同步带轮中心位置伸出,壳体还与密封机构相连接。
优选的,所述的密封机构包括设于坩埚支撑杆与壳体底板之间的密封转接件,密封转接件一侧通过真空管路与真空泵相连接。
优选的,所述的低温加热器和高温加热器之间设有散热区。
优选的,所述的壳体外侧通过连接块与框架固定连接。
优选的,所述的上盖与壳体之间设有密封胶圈。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种定向凝固晶体生长设备,具备以下有益效果:
1.本实用新型降低了实验或者生产中产生事故的风险,简化了操作步骤的同时也节省了材料成本。
2.本实用新型放置原料的坩埚不用完全密封,在坩埚外部通过壳体起到密封作用,且放置原料的坩埚可以实现同时升降与旋转。
附图说明
图1为本实用新型的主视结构示意图;
图2为图1中A处的放大结构示意图。
图中标示:1.真空泵;2.真空管路;3.框架;4.石英管;5.高温加热器;6.低温加热器;7.壳体;71.连接块;8.上盖;9.压钳;10.密封胶圈;11.散热区;12.坩埚支撑杆;13.热电偶;14.密封转接件;15.旋转密封磁流体;16.旋转电机;17.同步带轮;18.升降机构;19.同步带;20.坩埚托盘;21.坩埚。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东晶升电子科技有限公司,未经山东晶升电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022533733.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种下轨结构及推拉门窗
- 下一篇:一种小型多功能遥控测量车