[实用新型]用于芯片测试的载物台组件及芯片测试设备

权利要求书

1.一种用于芯片测试的载物台组件，其特征在于，包括载物台、第一滑块、第二滑块、第一滑块移动单元、第二滑块移动单元和移动把手；所述载物台设置在所述第一滑块上，所述第一滑块设置在所述第二滑块上；所述第一滑块移动单元与所述第一滑块连接，驱动或限定所述第一滑块沿所述第一滑块移动单元的设定方向移动；所述第二滑块移动单元与所述第二滑块连接，驱动或限定所述第二滑块沿所述第二滑块移动单元的设定方向移动；所述移动把手设置在所述第二滑块上，用于对所述第二滑块施加外力使其移动；所述移动把手上还设置有空气开关，所述空气开关在导通或关断时分别使得所述第二滑块相对于所述第二滑块移动单元的位置由所述移动把手的受力决定或由所述第二滑块移动单元本身的操作决定。

2.根据权利要求1所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于，所述第二滑块移动单元通过第二连接件连接在所述第二滑块的侧面，驱动或限定所述第二滑块沿X轴方向移动。

3.根据权利要求2所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于，所述第二滑块移动单元包括两个设置在所述载物台同一侧面的不同位置的轴承座、通过轴承安装在所述两个轴承座上的第二滑动轴以及套接在所述第二滑动轴上的第二气动夹紧模块，所述第二气动夹紧模块与所述第二连接件连接；所述第二滑动轴一端通过所述轴承延伸，并在其延伸的端头设置有使得所述第二滑动轴旋转的第二旋转手柄。

4.根据权利要求3所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于，所述第二气动夹紧模块包括无牙螺母，所述第二滑动轴包括表面光滑的轴；所述空气开关导通时所述无牙螺母与所述第二滑动轴接触，所述第二滑动轴在所述第二旋转手柄的作用下旋转，使得所述无牙螺母在所述第二滑动轴上的位置改变。

5.根据权利要求4所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于，所述无牙螺母内设置有在通过所述空气开关的压缩空气作用与所述第二滑动轴接触的环状旋转轴承，所述环状旋转轴承包括多个，多个环状旋转轴承与所述第二滑动轴接触的位置和形状不同，以实现在所述无牙螺母在所述第二滑动轴旋转时沿指定的方向移动的动作。

6.根据权利要求5所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于，所述移动把手垂直设置在所述第二滑块的一个边沿或一个角上，所述空气开关设置在所述移动把手的顶部，并由所述移动把手中引出分别与外部的压缩空气源和所述第二气动夹紧模块的进气端连接的软管。

7.根据权利要求1所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于，所述第一滑块移动单元设置在所述第二滑块上，并通过第一连接件连接在所述第一滑块的侧面，驱动或限定所述第一滑块沿Y轴方向移动。

8.根据权利要求7所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于，所述第一滑块移动单元包括两个设在不同位置的轴承座、通过轴承安装在所述两个轴承座上的第一滑动轴以及套接在所述第一滑动轴上的第一夹紧模块，所述第一夹紧模块与所述第一连接件连接；所述第一滑动轴一端通过所述轴承延伸，并在其延伸的端头设置有使得所述第一滑动轴旋转的第一旋转手柄。

9.根据权利要求8所述的用于芯片测试的载物台组件，其特征在于，所述第一夹紧模块包括无牙螺母，所述第一滑动轴包括表面光滑的轴；所述第一夹紧模块与所述第一滑动轴接触，所述第一滑动轴在旋转时使得所述第一夹紧模块在所述第一滑动轴上的位置改变。

10.一种芯片测试设备，包括载物台组件，其特征在于，所述载物台组件是如权利要求1-9任意一项所述的载物台组件。