[实用新型]一种线切割过程工件稳定装置有效

专利信息
申请号: 202022534230.X 申请日: 2020-11-05
公开(公告)号: CN213795350U 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 贾俊 申请(专利权)人: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
主分类号: B23Q3/06 分类号: B23Q3/06;B23H11/00;B23H7/02
代理公司: 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 代理人: 沈相权
地址: 311201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 切割 过程 工件 稳定 装置
【权利要求书】:

1.一种线切割过程工件稳定装置,其特征在于:包括接料框(12),所述的接料框(12)上方设有上机架(2),所述的接料框(12)内设有硅柱(14),所述的硅柱(14)与上机架(2)间设有升降油缸(5),所述的升降油缸(5)与硅柱(14)间设有硅柱夹臂(6),所述的接料框(12)两端均设有转轴(10),所述的转轴(10)上均设有与转轴(10)相插嵌式限位套接的主辊筒(9),两主辊筒(9)间设有若干呈等间距分布且与硅柱(14)相切割式触接的切割钢丝(7)。

2.根据权利要求1所述的一种线切割过程工件稳定装置,其特征在于:所述的辊筒(9)与上机架(2)间均设有喷液管(4),所述的喷液管(4)与上机架(2)间均设有送液连接管(3)。

3.根据权利要求2所述的一种线切割过程工件稳定装置,其特征在于:所述的喷液管(4)与切割钢丝(7)间均设有与喷液管(4)相连通喷嘴(8)。

4.根据权利要求2所述的一种线切割过程工件稳定装置,其特征在于:所述的接料框(12)下方设有回液沉淀池(11),所述的回液沉淀池(11)侧边设有与回液沉淀池(11)相管路连通的抽液泵(15),所述的抽液泵(15)与上机架(2)间设有与送液连接管(3)相连通的抽液管(1)。

5.根据权利要求1所述的一种线切割过程工件稳定装置,其特征在于:所述的接料框(12)四周均设有与接料框(12)相卡嵌式螺栓连接的网格板(13)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司,未经杭州中欣晶圆半导体股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022534230.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top