[实用新型]一种线切割过程工件稳定装置有效
申请号: | 202022534230.X | 申请日: | 2020-11-05 |
公开(公告)号: | CN213795350U | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 贾俊 | 申请(专利权)人: | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
主分类号: | B23Q3/06 | 分类号: | B23Q3/06;B23H11/00;B23H7/02 |
代理公司: | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人: | 沈相权 |
地址: | 311201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切割 过程 工件 稳定 装置 | ||
1.一种线切割过程工件稳定装置,其特征在于:包括接料框(12),所述的接料框(12)上方设有上机架(2),所述的接料框(12)内设有硅柱(14),所述的硅柱(14)与上机架(2)间设有升降油缸(5),所述的升降油缸(5)与硅柱(14)间设有硅柱夹臂(6),所述的接料框(12)两端均设有转轴(10),所述的转轴(10)上均设有与转轴(10)相插嵌式限位套接的主辊筒(9),两主辊筒(9)间设有若干呈等间距分布且与硅柱(14)相切割式触接的切割钢丝(7)。
2.根据权利要求1所述的一种线切割过程工件稳定装置,其特征在于:所述的辊筒(9)与上机架(2)间均设有喷液管(4),所述的喷液管(4)与上机架(2)间均设有送液连接管(3)。
3.根据权利要求2所述的一种线切割过程工件稳定装置,其特征在于:所述的喷液管(4)与切割钢丝(7)间均设有与喷液管(4)相连通喷嘴(8)。
4.根据权利要求2所述的一种线切割过程工件稳定装置,其特征在于:所述的接料框(12)下方设有回液沉淀池(11),所述的回液沉淀池(11)侧边设有与回液沉淀池(11)相管路连通的抽液泵(15),所述的抽液泵(15)与上机架(2)间设有与送液连接管(3)相连通的抽液管(1)。
5.根据权利要求1所述的一种线切割过程工件稳定装置,其特征在于:所述的接料框(12)四周均设有与接料框(12)相卡嵌式螺栓连接的网格板(13)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司,未经杭州中欣晶圆半导体股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022534230.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:载带碎料收集装置
- 下一篇:一种固体废弃物挤压处理装置