[实用新型]封装结构有效
申请号: | 202022540437.8 | 申请日: | 2020-11-05 |
公开(公告)号: | CN213340341U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 魏瑀;王波;滕乙超;刘东亮;刘洋洋 | 申请(专利权)人: | 浙江荷清柔性电子技术有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/498;H01L23/528 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 林丽璀 |
地址: | 310000 浙江省杭州市经济技术开发*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 结构 | ||
本申请涉及一种封装结构,包括至少两个芯片基板、至少一个导电孔及封装层,至少两个芯片基板在厚度方向上依次堆叠形成堆叠结构,芯片基板设有芯片,导电孔从一芯片基板贯通至另一芯片基板,芯片基板上的芯片与导电孔连接,封装层覆盖至少两个芯片基板形成的堆叠结构。本申请将制作完成的芯片基板堆叠后打孔互连,可以减小封装体积,实现更高的集成度,且工艺难度低、良率高、易于量产化。
技术领域
本申请涉及封装技术领域,具体涉及一种封装结构。
背景技术
随着以电子计算机为核心、IC产业为基础的现代信息产业快速发展,其对更轻、更薄、更小、高可靠性、低功耗的不断追求,推动微电子封装朝着密度更高、尺寸更小的封装方式发展。根据摩尔定律,芯片的实际尺寸不断缩小,芯片的特征尺寸也要不断减小来提高集成度,而特征尺寸的减小可能带来负面效应。因此,想要通过改变芯片尺寸来达到减小封装体积的方式已变得不再实际,有必要提出一种新的封装方式来减小封装体积,实现更高的集成度。
实用新型内容
针对上述技术问题,本申请提供一种封装结构,可以减小封装体积,实现更高的集成度。
为解决上述技术问题,本申请提供一种封装结构,包括至少两个芯片基板、至少一个导电孔及封装层,至少两个所述芯片基板在厚度方向上依次堆叠形成堆叠结构,所述芯片基板设有芯片,所述导电孔从一所述芯片基板贯通至另一所述芯片基板,所述芯片基板上的所述芯片与所述导电孔连接,所述封装层覆盖至少两个所述芯片基板形成的所述堆叠结构。
可选的,所述芯片基板包括电路基板、图案化的感光显影膜与图案化的金属层,所述电路基板上设有所述芯片与第二焊盘,所述导电孔与所述第二焊盘连接,所述图案化的感光显影膜覆盖所述电路基板、所述芯片与所述第二焊盘,并暴露出所述第二焊盘以及位于所述芯片的第三焊盘,所述图案化的金属层形成在所述图案化的感光显影膜上,并连接所述第二焊盘与所述第三焊盘。
可选的,所述电路基板为柔性电路基板,所述芯片为柔性芯片,所述封装层为柔性封装层;所述芯片的厚度小于或等于50μm,所述感光显影膜的厚度为20~30μm,所述金属层的厚度为5~10μm。
可选的,所述电路基板在与所述芯片对应的位置处设有凹槽,所述芯片设置在所述凹槽中,所述凹槽的深度小于或等于所述芯片的厚度。
可选的,所述芯片基板的厚度小于或等于100μm。
可选的,所述导电孔为孔壁形成有导电层的通孔或盲孔。
可选的,所述导电孔的打孔直径为0.1~0.2mm,所述导电层的厚度为5~10μm。
可选的,堆叠后位于表层的芯片基板还设有无源器件,所述封装层覆盖所述无源器件;和/或,堆叠后位于表层的所述芯片基板设有引线键合结构,所述封装层覆盖所述引线键合结构。
可选的,相邻所述芯片基板之间通过胶层压合固定。
可选的,所述胶层的厚度为20~30μm。
本申请的封装结构,包括至少两个芯片基板、至少一个导电孔及封装层,至少两个芯片基板在厚度方向上依次堆叠形成堆叠结构,芯片基板设有芯片,导电孔从一芯片基板贯通至另一芯片基板,芯片基板上的芯片与导电孔连接,封装层覆盖至少两个芯片基板形成的堆叠结构。本申请将制作完成的芯片基板堆叠后打孔互连,可以减小封装体积,实现更高的集成度。
附图说明
图1是根据第一实施例示出的封装结构的结构示意图;
图2是根据第二实施例示出的封装结构的结构示意图;
图3是根据第三实施例示出的封装方法的流程示意图;
图4是根据第三实施例示出的封装方法的工艺示意图。
具体实施方式
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