[实用新型]一种靶材平整度测试工装

权利要求书

1.一种靶材平整度测试工装，其特征在于，包括工作台，所述工作台上设置有固定机构和检测机构，所述固定机构包括第一驱动电机和第一移动装置，所述第一驱动电机一端通过联轴器连接有双向丝杆，所述双向丝杆两端均设置有固定板，所述工作台上设置有与所述固定板相对应的轨道，所述第一移动装置设置在所述工作台的中心并且设置有通孔方便所述双向丝杆通过；

所述工作台上设置有支架，所述检测机构设置在所述支架上，所述检测机构包括第二驱动电机和第二移动装置，所述第二驱动电机通过联轴器连接有单向丝杆，所述第二移动装置设置在所述单向丝杆上并且可以沿着所述单向丝杆移动，所述第二移动装置底端设置有检测仪。

2.如权利要求1所述的靶材平整度测试工装，其特征在于，所述第一移动装置的通孔远大于所述双向丝杆的直径，因此所述双向丝杆移动并不能带动所述第一移动装置移动。

3.如权利要求1所述的靶材平整度测试工装，其特征在于，所述第二移动装置上设置有与所述单向丝杆相对应的螺纹孔。

4.如权利要求1所述的靶材平整度测试工装，其特征在于，所述第一移动装置与所述第二移动装置结构相同，均包括升降轴，所述升降轴一端设置有升降气缸，所述升降轴另一端设置有平面板。

5.如权利要求1所述的靶材平整度测试工装，其特征在于，两个所述固定板相对的一面设置有橡胶层。

6.如权利要求1所述的靶材平整度测试工装，其特征在于，两个所述固定板相对的一面设置有压力传感器。

7.如权利要求1所述的靶材平整度测试工装，其特征在于，所述第一驱动电机和第二驱动电机采用步进电机。