[实用新型]一种靶材平整度测试工装

说明书

本实用新型公开了一种靶材平整度测试工装，包括工作台，工作台上设置有固定机构和检测机构，固定机构包括第一驱动电机和第一移动装置，第一驱动电机一端通过联轴器连接有双向丝杆，双向丝杆两端均设置有固定板，工作台上设置有与固定板相对应的轨道；工作台上设置有支架，检测机构设置在支架上，检测机构包括第二驱动电机和第二移动装置，第二驱动电机通过联轴器连接有单向丝杆，第二移动装置设置在单向丝杆上并且可以沿着单向丝杆移动，第二移动装置底端设置有检测仪。本实用新型结构简单，可以通过移动第一移动装置与第二移动装置的配合实现靶材任意位置的平整度检测，无需人工目测即可实现测量，准确性高，方便快捷。

技术领域

本实用新型涉及靶材检测领域，具体涉及一种靶材平整度测试工装。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

靶材在使用过程中上下两个平面容易发生向上的弯曲，有的甚至弯曲弧度达0.5mm，会影响使用效果，因此使用前对靶材进行平整度的测试是使用靶材前的必要步骤，现有的检测一般采用人工测量，效率低并且检测数据准确性差。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种靶材平整度测试工装，结构简单，可以通过移动第一移动装置与第二移动装置的配合实现靶材任意位置的平整度检测，无需人工目测即可实现测量，准确性高，方便快捷。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种靶材平整度测试工装，包括工作台，所述工作台上设置有固定机构和检测机构，所述固定机构包括第一驱动电机和第一移动装置，所述第一驱动电机一端通过联轴器连接有双向丝杆，所述双向丝杆两端均设置有固定板，所述工作台上设置有与所述固定板相对应的轨道，所述第一移动装置设置在所述工作台的中心并且设置有通孔方便所述双向丝杆通过；所述工作台上设置有支架，所述检测机构设置在所述支架上，所述检测机构包括第二驱动电机和第二移动装置，所述第二驱动电机通过联轴器连接有单向丝杆，所述第二移动装置设置在所述单向丝杆上并且可以沿着所述单向丝杆移动，所述第二移动装置底端设置有检测仪。

进一步地，所述第一移动装置的通孔远大于所述双向丝杆的直径，因此所述双向丝杆移动并不能带动所述第一移动装置移动。

进一步地，所述第二移动装置上设置有与所述单向丝杆相对应的螺纹孔。

进一步地，所述第一移动装置与所述第二移动装置结构相同，均包括升降轴，所述升降轴一端设置有升降气缸，所述升降轴另一端设置有平面板。

进一步地，两个所述固定板相对的一面设置有橡胶层。

进一步地，两个所述固定板相对的一面设置有压力传感器。

进一步地，所述第一驱动电机和第二驱动电机采用步进电机。

本实用新型的有益效果：本装置将靶材放在第一移动装置上，利用第一驱动电机带动双向丝杆旋转、双向丝杆带动两端的固定板固定住靶材的水平位置，之后利用第二驱动电机带动单向丝杆旋转，使得第二移动装置移动，待第二移动装置移动到第一移动装置的正上方时，启动升降轴，带动检测仪向下移动直到接触靶材，此时便可得到整个靶材的平整度，全自动化设置，测量准确性高。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的第一移动装置结构示意图。