[实用新型]一种传感器芯片标定测试调度装置

说明书

本实用新型公开了一种传感器芯片标定测试调度装置，用于传感器标定线上多个传感器的芯片载板在N个芯片测试区同时进行标定测试，所述传感器标定线包括顺序连接的N‑1个温区和1个复测区、一条贯穿整线的传输机构，每个温区包括一个预温箱、一个测试箱、一个缓冲箱、一个过渡箱，所述高温区不包含过渡箱；所述复测区包括一个降温箱、一个写入箱、一个复测箱；所述标定测试包括传输机构将各芯片载板依次转移到各温区的预温箱、测试箱，并进行标定测试，然后进入缓冲箱、过渡箱，最后转移到复测区的降温箱、写入箱和复测箱，完成全部标定测试，可以使多个芯片载板在多个测试温区中同时且高效进行标定测试。

技术领域

本实用新型涉及传感器芯片标定技术领域，具体涉及一种传感器芯片标定测试调度装置。

背景技术

传感器芯片自动标定线是传感器生产线中的重要设备。该设备为批量在线自动标定线，设备包括多个测试温区和一套贯穿整线的传输机构，可用于在线标定传感器芯片。其中，一个测试温区可同时标定一个芯片载板上的全部芯片，通常一个芯片载板上有64块芯片。

为了提高传感器芯片在线自动标定的效率，其通常在标定线设备的四个测试温区同时进行标定测试。一个芯片标定作业是指按工艺要求使芯片载板达到一定的温度，并在特定的环境如压力下进行标定测试，同时进行四个芯片标定作业即使标定线上的四个测试温区同时对四个芯片载板上的芯片进行标定。然而，在这种情况下，当芯片载板结束某一温区的测试、进入下一温区时，如果芯片载板与下一温区的温差过大，会发生凝露或热胀冷缩而损坏芯片及硬件结构；如果在各测试温区之间设置过长的温度过渡区间，又会降低标定线的生产效率、提高整线的芯片载板数量冗余。

实用新型内容

为此，本实用新型提供一种传感器芯片标定测试调度装置，使多个芯片载板在多个测试温区中同时且高效进行标定测试。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种传感器芯片标定测试调度装置，用于调度传感器标定线上多个传感器的芯片载板在N个芯片测试区同时进行标定测试，所述传感器标定线包括顺序连接的N-1个温区和1个复测区、一条贯穿整线的传输机构，所述N-1 个温区为低温区、常温区、高温区，每个温区包括一个预温箱、一个测试箱、一个缓冲箱、一个过渡箱，所述高温区不包含过渡箱；所述复测区包括一个降温箱、一个写入箱、一个复测箱；所述传输机构用于将进行标定测试的各芯片载板依次转移到各温区的预温箱、测试箱、缓冲箱、过渡箱、复测区的降温箱、写入箱和复测箱，其中N为大于等于2、小于等于4的整数，所述装置包括：

装载单元(1)，四个测试温区(2-1)、(2-2)、(2-3)、(2-4)，传输机构(3)，卸载单元(4)；其中，第一测试温区(2-1)包括低温预温箱、低温测试箱、低温缓冲箱、低温过渡箱；第二测试温区(2-2)包括常温预温箱、常温测试箱、常温缓冲箱、常温过渡箱；第三测试温区(2-3)包括高温预温箱、高温测试箱、高温缓冲箱；第四测试温区(2-4)包括降温箱、写入箱、复测箱。

可选地，所述芯片载板为容纳64片5mm×5mm的芯片，材质为PCB，芯片间距为10mm。

可选地，芯片载板从低温区过渡箱进入常温区预温箱时、从常温区过渡箱进入高温区预温箱时、从复测区写入箱进入复测箱时均存在准入温度阈值条件。

本实用新型具有如下优点：

本实用新型提供一种传感器芯片标定测试调度装置，其中传感器标定线包括顺序连接的N-1个温区和1个复测区、一条贯穿整线的传输机构，所述 N-1个温区为低、常、高三个不同温度下的温区，每个温区包括一个预温箱、一个测试箱、一个缓冲箱、一个过渡箱，高温区不包含过渡箱；所述复测区包括一个降温箱、一个写入箱、一个复测箱；所述标定测试包括传输机构将各芯片载板依次转移到各温区的预温箱、测试箱，并进行标定测试，然后进入缓冲箱、过渡箱，最后转移到复测区的降温箱、写入箱和复测箱，完成全部标定测试使多个芯片载板在多个测试温区中同时且高效进行标定测试。

附图说明