[实用新型]器件连接结构和半导体有效
申请号: | 202022557088.0 | 申请日: | 2020-11-06 |
公开(公告)号: | CN213212160U | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 刘学刚;王新月;孙娜娜 | 申请(专利权)人: | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 严诚 |
地址: | 250000 山东省济南市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 器件 连接 结构 半导体 | ||
本实用新型实施例提供一种器件连接结构和半导体,涉及半导体技术领域。半导体包括器件连接结构,器件连接结构包括基板、器件和导体层,其中,多个器件分布在基板上,导体层覆盖在多个器件上,导体层与多个器件电连接,导体层上开设有至少一个镂空区,镂空区位于相邻的器件之间。器件连接结构和半导体能够使电流分配合理,减少电流的损耗,加快器件的反应时间,提高器件的性能。
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种器件连接结构和半导体。
背景技术
随着半导体工艺技术的快速进步,纳米等级的电路设计已经成为现行工艺的主流。在纳米等级的电路设计中,每个导体层的使用面积和利用率有着重要意义,如果存在导体层中的布线设计不合理,都会导致器件的性能急剧下降。
目前,两个器件之间一般需要通过导体层相连,而且导体层通常是采用全面覆盖的形式设置在基板上,也就是在基板的整个外延生长的表面上覆盖导体层,虽然这样电路绘制便利、工厂制造方便,但是导体层的大部分对实现器件性能是无用的,无用的导体层的部分仍会分布电流,会造成器件的电流损耗较大,且易受到外接温度、湿度等环境因素的影响,造成电流分布不均匀,降低器件的性能。
因此,设计一种器件连接结构,能够使电流分配合理,减少电流的损耗,加快器件的反应时间,提高器件的性能,这是目前急需解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种器件连接结构和半导体,其能够使电流分配合理,减少电流的损耗,加快器件的反应时间,提高器件的性能。
本实用新型的实施例是这样实现的:
第一方面,本实用新型提供一种器件连接结构,器件连接结构包括基板、分布在基板上的多个器件和覆盖在多个器件上的导体层,导体层与多个器件电连接,导体层上开设有至少一个镂空区,镂空区位于相邻的器件之间。
在可选的实施方式中,导体层上远离器件的表面为轴对称形状。
在可选的实施方式中,导体层上远离器件的表面为中心对称形状。
在可选的实施方式中,器件在基板上呈环状形式排布,镂空区的数量为一个、且位于环状的中心位置。
在可选的实施方式中,器件呈矩阵形式排布,相邻两行器件之间的区域和/或相邻两列器件之间的区域开设有镂空区。
在可选的实施方式中,每相邻两列器件之间的区域开设有一个镂空区,镂空区沿列的长度方向延伸,镂空区的长度小于列的长度。
在可选的实施方式中,每相邻两行器件之间的区域开设有一个镂空区,镂空区沿行的长度方向延伸,镂空区的长度小于每行的长度。
在可选的实施方式中,相邻两个镂空区错位设置。
在可选的实施方式中,每相邻两行器件之间的区域开设有两个间隔的镂空区,两个镂空区分别分布在导体层的两侧、且均延伸至导体层的边缘。
在可选的实施方式中,器件的行数为M,前N行器件中,相邻两行器件之间的区域,后M-N行器件中,相邻两列器件之间的区域开设有镂空区。
第二方面,本实用新型提供一种半导体,半导体包括前述实施方式任一项的器件连接结构。
本实用新型实施例提供的器件连接结构和半导体的有益效果包括:
通过在导体层上对应器件间隙的位置开设镂空区,镂空区是对器件的电性和性能没有具体影响的部分,镂空区中没有填充导体层的材料,不会有电流分布,避免电流在导体层的无用部分分布,使电流能够分配合理,减少电流的损耗,加快器件的反应时间,提高器件的性能。
附图说明
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