[实用新型]一种晶圆生产加工专用涂敷装置

权利要求书

1.一种晶圆生产加工专用涂敷装置，包括涂敷装置主体（2），所述涂敷装置主体（2）的顶端设置有涂敷毛体（1），所述涂敷装置主体（2）的底端固定安装有手把（8），其特征在于：所述涂敷装置主体（2）的内表面边缘处开设有凹槽（12），所述凹槽（12）的内部通过胶液粘合固定有弹簧（11），所述弹簧（11）的端部弹性连接有卡头（10），所述涂敷毛体（1）的外表面边缘处开设有卡槽（9），且所述弹簧（11）与所述涂敷毛体（1）通过所述卡头（10）与所述卡槽（9）紧压连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用涂敷装置，其特征在于：所述手把（8）的外表面套合有安装环（7），所述安装环（7）的两端均固定安装有连接杆（3），所述连接杆（3）的端部通过螺纹结构旋合连接有螺纹杆（4），所述螺纹杆（4）的端部通过轴承转动连接有配重底座（5），所述配重底座（5）的内部开设有放置槽（6），且所述手把（8）的端部嵌入所述放置槽（6）的内部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆生产加工专用涂敷装置，其特征在于：所述手把（8）的端部为环形结构，且所述手把（8）的端部与所述放置槽（6）的内部结构相吻合。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆生产加工专用涂敷装置，其特征在于：所述连接杆（3）与所述螺纹杆（4）通过螺纹结构旋合连接，且所述螺纹杆（4）的端部嵌入所述连接杆（3）的内部。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用涂敷装置，其特征在于：所述涂敷毛体（1）与所述涂敷装置主体（2）的内表面均为环形结构，且所述涂敷毛体（1）的端部嵌入所述涂敷装置主体（2）的内部。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用涂敷装置，其特征在于：所述卡槽（9）的内表面与所述卡头（10）的端部均为弧形结构，且所述卡头（10）的端部与所述卡槽（9）的内表面相匹配。