[实用新型]一种可调节式单晶炉坩埚

说明书

本实用新型公开了一种可调节式单晶炉坩埚，包括基座，所述基座上端固定设置有坩埚底部调节机构，所述坩埚底部调节机构包括导轨座，所述导轨座侧壁固定设置有丝杆，所述丝杆侧壁通过螺纹套活动连接有坩埚轴，所述坩埚轴上端外侧固定设置有波纹管，所述坩埚轴下端外侧固定设置有埚转磁流体，所述埚转磁流体远离导轨座的一端固定设置有埚转电机，所述坩埚轴下端固定连接有旋转接头。本实用新型公开了一种可调节式单晶炉坩埚，可以在制备单晶时使内部的坩埚在垂直方向进行上升和下降，也可以使坩埚进行旋转，还可在副炉室内坩埚提升到位时缓慢旋开和快速旋闭，实现取单晶过程的自动化动作，使用更安全可靠，值得推广。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉用坩埚技术领域，尤其涉及一种可调节式单晶炉坩埚。

背景技术

直拉式单晶炉是生产太阳能电池用单晶硅和集成电路及单晶硅的的主要设备，随着太阳能电池硅材料的尺寸越来越大，以及集成电路对单晶材料的品质要求越来越高，对与之相对应的单晶生长设备的自动化程度和长期使用的稳定性提出了更高的要求，在用直拉法生长单晶的过程中，要将多晶料置于石英坩埚中，经过高温回执使其熔化为多晶硅熔液，籽晶由顶部下降到多晶熔液中，控制液面的温度使多晶熔液在籽晶周围重新结晶，生成排列整齐的单晶硅棒，多晶硅熔液面的稳定性，直接影响单生产的品质。

单晶炉中对坩埚的调节比较重要，再单晶炉制备单晶的过程中，坩埚的有效调节对单晶炉的性能起着非常重要的作用，所以，需要提出一种可调节式的单晶炉坩埚，方便对坩埚进行有效的调节。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种可调节式单晶炉坩埚。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种可调节式单晶炉坩埚，包括基座，所述基座上端固定设置有坩埚底部调节机构，所述坩埚底部调节机构包括导轨座，所述导轨座侧壁固定设置有丝杆，所述丝杆侧壁通过螺纹套活动连接有坩埚轴，所述坩埚轴上端外侧固定设置有波纹管，所述坩埚轴下端外侧固定设置有埚转磁流体，所述埚转磁流体远离导轨座的一端固定设置有埚转电机，所述坩埚轴下端固定连接有旋转接头，所述坩埚底部调节机构上端固定设置有主坩埚炉室，所述主坩埚炉室侧壁上端固定设置有气压表，所述主坩埚炉室上端固定设置有炉盖，所述炉盖上端固定设置有隔离阀座，所述隔离阀座前端固定设置有圆门，所述圆门中部固定设置有圆形观察窗，所述隔离阀座上端固定设置有副坩埚炉室，所述副坩埚炉室内部固定设置有箱体，所述箱体上端面一侧固定设置有蜗轮减速箱，所述蜗轮减速箱的输入端固定连接有伺服电机，所述蜗轮减速箱的输出端固定连接有输出轴，所述输出轴远离蜗轮减速箱的一端固定连接有小带轮，所述箱体远离蜗轮减速箱的一端内部固定设置有铜套，所述铜套上端外侧固定设置有盖板，所述铜套外壁固定连接有大带轮，所述大带轮和小带轮之间固定设置有同步带，所述副坩埚炉室上端固定设置有晶体提升旋转机构。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述坩埚底部调节机构底部两侧均固定设置有调整垫铁。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述晶体提升旋转机构包括晶升底板，所述晶升底板下端固定设置有晶转磁流体、导电滑环和晶转电机，所述晶升底板上端固定设置有慢速电机、快速电机和称重装置。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述主坩埚炉室前端面上部固定设置有测温计窗口。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述炉盖前端固定设置有操作者观察窗。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述隔离阀座一侧壁固定设置有两个籽晶位置检测窗口。

作为上述技术方案的进一步描述：