[实用新型]一种晶片生产用多功能检查台有效
申请号: | 202022569548.1 | 申请日: | 2020-11-09 |
公开(公告)号: | CN213600831U | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 孙健;陈晓达 | 申请(专利权)人: | 河北胤丞光电科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R31/303;H01L21/66 |
代理公司: | 北京壹川鸣知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11765 | 代理人: | 林潮 |
地址: | 063020 河北省唐山*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶片 生产 多功能 检查 | ||
1.一种晶片生产用多功能检查台,包括测试机(1),其特征在于:所述测试机(1)上端面中心处靠前端和靠后端的位置分别固定设置有操作板(8)和操作屏(19),所述测试机(1)上端面位于操作板(8)的一侧中心处开设有密封槽(26),所述测试机(1)上端面位于密封槽(26)的前端和后端均开设有滑槽(18),所述测试机(1)上端面位于密封槽(26)的上端活动设置有滑板(4),所述滑板(4)下端面靠前侧和靠后侧均固定设置有滑块(30),两个所述滑块(30)远离滑板(4)的一端分别活动设置在滑槽(18)内,所述密封槽(26)底面中心处固定设置有探针卡(24),所述探针卡(24)上端面中心处开设有探槽(25),所述测试机(1)上端面位于密封槽(26)的后侧中心处固定设置有一号伸缩杆(5),所述一号伸缩杆(5)的上端固定设置有支撑杆(6),所述支撑杆(6)下端面靠前侧的位置固定设置有小型显微镜(7),所述测试机(1)上端面远离密封槽(26)的一侧靠前端的位置固定设置有下护盖(13),所述下护盖(13)的底面中心处开设有放置槽(29),所述下护盖(13)后侧靠上端的位置固定设置有合页(22),所述合页(22)远离下护盖(13)的一端固定设置有上护盖(12),所述上护盖(12)上端面靠前侧的中心处固定设置有计时器(9),所述下护盖(13)前侧靠上端的位置固定设置有二号固定头(15),所述上护盖(12)前侧靠下端的位置固定设置有一号固定头(10),所述一号固定头(10)的上端中心处设置有螺栓(11),所述螺栓(11)的下端贯穿一号固定头(10)和二号固定头(15)通至二号固定头(15)的下端,所述螺栓(11)的栓身位于二号固定头(15)的下端螺纹套接有螺母(14),所述测试机(1)上端面位于下护盖(13)的后侧开设有枪槽(21),所述枪槽(21)的内端活动设置有静电枪(20)。
2.根据权利要求1所述的一种晶片生产用多功能检查台,其特征在于:所述上护盖(12)上端面中心处固定设置有拉杆(23)。
3.根据权利要求1所述的一种晶片生产用多功能检查台,其特征在于:所述滑板(4)上端面中心处固定设置有推杆(3)。
4.根据权利要求1所述的一种晶片生产用多功能检查台,其特征在于:所述测试机(1)两侧中心处均固定设置有推手(2)。
5.根据权利要求1所述的一种晶片生产用多功能检查台,其特征在于:所述测试机(1)下端面靠近四角处均固定设置有二号伸缩杆(17)。
6.根据权利要求5所述的一种晶片生产用多功能检查台,其特征在于:四个所述二号伸缩杆(17)的下端均固定设置有自锁万向轮(16)。
7.根据权利要求1所述的一种晶片生产用多功能检查台,其特征在于:所述测试机(1)分别与探针卡(24)、加热灯(28)、小型显微镜(7)、操作板(8)、操作屏(19)、静电枪(20)电性连接。
8.根据权利要求1所述的一种晶片生产用多功能检查台,其特征在于:所述下护盖(13)的上端和上护盖(12)的下端均固定设置有橡胶垫(27)。
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