[实用新型]扩散泵降温冷却装置有效
申请号: | 202022574411.5 | 申请日: | 2020-11-10 |
公开(公告)号: | CN213419524U | 公开(公告)日: | 2021-06-11 |
发明(设计)人: | 张继辉;刘春雷;孙会民 | 申请(专利权)人: | 沈阳蓝菱真空设备制造有限公司 |
主分类号: | F04F9/00 | 分类号: | F04F9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 110033 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扩散 降温 冷却 装置 | ||
1.扩散泵降温冷却装置,其特征在于,包括:
泵体,其为凸腔结构,所述泵体为白钢材质,所述泵体包括带有中空的油腔,进气口和出气口的外罩,设置在油腔底部的加热装置及设置在加热装置上方泵芯,泵芯上端设有伞形喷嘴;
进水管路,其固定设置在所述泵体上端;
排水管路,其固定设置在所述泵体下端;
冷却水管,其为矩形的白钢管,呈螺旋型缠绕在所述泵体的外壁上,所述冷却水管一端与所述进水管路连接,另一端与所述排水管路连接。
2.根据权利要求1所述的扩散泵降温冷却装置,其特征在于,所述冷却水管焊接在所述泵体的外壁上。
3.根据权利要求1所述的扩散泵降温冷却装置,其特征在于,所述的泵体的下部设有观察窗和测温电阻,其中观察窗由白钢制造。
4.根据权利要求1所述的扩散泵降温冷却装置,其特征在于,还设置由循环水箱,所述循环水箱包括进水口和出水口,所述进水口与所述排水管路连接,所述出水口与所述进水管路连接,所述进水管路上设置有抽水泵。
5.根据权利要求4所述的扩散泵降温冷却装置,其特征在于,所述循环水箱上设置由冷凝器。
6.根据权利要求1所述的扩散泵降温冷却装置,其特征在于,所述进水管路包括第一进水管路和第二进水管路,所述排水管路包括第一排水管路和第二排水管路,所述冷却水管为并行连接的第一冷却水管和第二冷却水管,所述第一冷却水管一端与所述第一进水管路连接,另一端与所述第一排水管路连接,所述第二冷却水管一端与所述第二进水管路连接,另一端与所述第二排水管路连接,所述第一进水管路与第一循环水箱的出水口连接,所述第一排水管路与所述第一循环水箱的进水口连接,所述第二进水管路与第二循环水箱的出水口连接,所述第二排水管路与所述第二循环水箱的进水口连接,所述第一进水管路和第二进水管路上均设置有增压设备,所述第一循环水箱和第二循环水箱内均设置有冷凝器。
7.根据权利要求6所述的扩散泵降温冷却装置,其特征在于,所述第一排水管路和第二排水管路上设置有温度传感器。
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