[实用新型]扩散泵降温冷却装置

说明书

本实用新型提供一种扩散泵降温冷却装置，包括：泵体，其为凸腔结构，所述泵体为白钢材质，所述泵体包括带有中空的油腔，进气口和出气口的外罩，设置在油腔底部的加热装置及设置在加热装置上方泵芯，泵芯上端设有伞形喷嘴；进水管路，其固定设置在所述泵体上端；排水管路，其固定设置在所述泵体下端；冷却水管，其为矩形的白钢管，呈螺旋型缠绕在所述泵体的外壁上，所述冷却水管一端与所述进水管路连接，另一端与所述排水管路连接。本实用新型泵体为白钢材质，替代了碳钢泵壳，白钢的密度要优于Q235碳钢的密度，减小了泵壳的放气量，提高了真空抽速。

技术领域

本实用新型属于扩散泵领域，特别是扩散泵降温冷却装置。

背景技术

扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。通常的油扩散泵采用水冷却系统，主要由泵体、扩散喷嘴、喷射喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、水冷却系统和前级挡油器部分组成。当油扩散泵用前级泵预抽到低于7帕真空时，油锅可开始加热。油沸腾时沿蒸气导管上升至喷嘴处喷出高速的油蒸气射流，被抽气体分子扩散到蒸气射流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。射流射向被冷却的泵壁，油蒸气被冷凝，释出气体分子，并被逐级的携带、压缩最后被前级泵抽走而达到抽气目的。

现在市场上使用的油扩散泵基本是碳钢泵壳结构，冷却方式为泵体表面盘制不锈钢圆形冷水管进行冷却，碳钢材料遇水后容易生锈，使用一段时间后导致设备冷却效果下降，圆形的冷水管冷却效果差。

实用新型内容

为了实现上述目的，本实用新型提出了一种扩散泵降温冷却装置，包括：

泵体，其为凸腔结构，所述泵体为白钢材质，所述泵体包括带有中空的油腔，进气口和出气口的外罩，设置在油腔底部的加热装置及设置在加热装置上方泵芯，泵芯上端设有伞形喷嘴；

进水管路，其固定设置在所述泵体上端；

排水管路，其固定设置在所述泵体下端；

冷却水管，其为矩形的白钢管，呈螺旋型缠绕在所述泵体的外壁上，所述冷却水管一端与所述进水管路连接，另一端与所述排水管路连接。

优选方案是：所述冷却水管焊接在所述泵体的外壁上。

优选方案是：所述的泵体的下部设有观察窗和测温电阻，其中观察窗由白钢制造。

优选方案是：还设置由循环水箱，所述循环水箱包括进水口和出水口，所述进水口与所述排水管路连接，所述出水口与所述进水管路连接，所述进水管路上设置有抽水泵。

优选方案是：所述循环水箱上设置由冷凝器。

优选方案是：所述进水管路包括第一进水管路和第二进水管路，所述排水管路包括第一排水管路和第二排水管路，所述冷却水管为并行连接的第一冷却水管和第二冷却水管，所述第一冷却水管一端与所述第一进水管路连接，另一端与所述第一排水管路连接，所述第二冷却水管一端与所述第二进水管路连接，另一端与所述第二排水管路连接，所述第一进水管路与第一循环水箱的出水口连接，所述第一排水管路与所述第一循环水箱的进水口连接，所述第二进水管路与第二循环水箱的出水口连接，所述第二排水管路与所述第二循环水箱的进水口连接，所述第一进水管路和第二进水管路上均设置有增压设备，所述第一循环水箱和第二循环水箱内均设置有冷凝器。

优选方案是：所述第一排水管路和第二排水管路上设置有温度传感器。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型泵体为白钢材质，替代了碳钢泵壳，白钢的密度要优于Q235碳钢的密度，减小了泵壳的放气量，提高了真空抽速；

2、本实用新型泵体为白钢材质，泵内壁的光洁度也明显提升了，并且省去了一道抛光工序，节省了人工成本；