[实用新型]基板磨削系统

权利要求书

1.一种基板磨削系统，其特征在于，

该基板磨削系统包括：

送入送出部，其具有供收容基板的盒载置的载置台、与所述载置台相邻地配置的第1输送区域、以及设置于所述第1输送区域并相对于所述盒送入送出所述基板的第1输送装置；

清洗部，其具有对所述基板进行清洗的第1清洗装置、对所述基板进行清洗的第2清洗装置、配置于所述第1清洗装置和所述第2清洗装置之间的第2输送区域、以及设置于所述第2输送区域且相对于所述第1清洗装置和所述第2清洗装置输送所述基板的第2输送装置；

磨削部，其具有对所述基板进行磨削的磨削装置；

第3输送区域，其配置于所述清洗部和所述磨削部之间；以及

第3输送装置，其设置于所述第3输送区域且相对于所述清洗部和所述磨削部输送所述基板，

所述第3输送区域与所述第1清洗装置以及所述第2输送区域相邻地配置，该第3输送区域以所述第2输送区域为基准而配置于与所述第2清洗装置相反的一侧，

所述清洗部和所述磨削部被分隔壁隔离。

2.根据权利要求1所述的基板磨削系统，其特征在于，

所述清洗部和所述第3输送区域被分隔壁隔离，

在隔离所述第1清洗装置和所述第3输送区域的分隔壁形成有供所述基板通过的输送口，

在所述输送口设有对所述输送口进行开闭的闸门。

3.根据权利要求1或2所述的基板磨削系统，其特征在于，

所述清洗部具有对由所述磨削装置磨削前的所述基板的中心进行检测的检测装置。

4.根据权利要求3所述的基板磨削系统，其特征在于，

所述检测装置和所述第1清洗装置在铅垂方向上层叠。

5.根据权利要求1或2所述的基板磨削系统，其特征在于，

所述第1清洗装置在由所述第2输送装置输送由所述磨削装置磨削后的所述基板之前对该基板进行清洗，

所述清洗部还具有对由所述磨削装置磨削前的所述基板进行清洗的第3清洗装置。

6.根据权利要求5所述的基板磨削系统，其特征在于，

所述第1清洗装置和所述第3清洗装置在铅垂方向上层叠。

7.根据权利要求1或2所述的基板磨削系统，其特征在于，

所述第2清洗装置包括喷嘴，该喷嘴喷出对由所述磨削装置磨削后的所述基板进行蚀刻的化学溶液。

8.根据权利要求1或2所述的基板磨削系统，其特征在于，

所述第1清洗装置包括对由所述磨削装置磨削后的所述基板进行擦洗的清洗体。

9.根据权利要求1或2所述的基板磨削系统，其特征在于，

所述第3输送装置包括从上方吸附保持所述基板的吸盘，

所述第2输送装置包括从下方保持所述基板的输送臂。