[实用新型]基板冷热处理装置

权利要求书

1.一种基板冷热处理装置，其特征在于，包括支撑杆(1)、下支撑板(2)、上支撑板(3)、框架(6)、水箱(7)、加热器(8)、法兰以及空调(9)，所述支撑杆(1)位于所述下支撑板(2)的下端，所述上支撑板(3)位于所述下支撑板(2)的上端；所述下支撑板(2)上设有第二电热管(12)、支撑部(13)以及冷凝管(16)，所述第二电热管(12)以及冷凝管(16)交叉盘绕在所述下支撑板(2)上，并且所述第二电热管(12)以及冷凝管(16)下半部分位于所述下支撑板(2)的内部，所述支撑部(13)位于所述下支撑板(2)的中间部分，并且所述支撑部(13)上用于设置基板；所述上支撑板(3)设有第一电热管(11)以及冷风管(20)，所述第一电热管(11)以及冷风管(20)交叉盘绕在上支撑板(3)上，并且所述第一电热管(11)以及冷风管(20)的上半部分均位于上支撑板(3)的内部；所述框架(6)、水箱(7)、加热器(8)以及空调(9)均位于下支撑板(2)的左侧，所述水箱(7)位于框架(6)的底端，所述加热器(8)安装在水箱(7)的上端，所述空调(9)安装在加热器(8)的上端，所述空调(9)上设有进风管(10)，所述进风管(10)通过法兰连接冷风管(20)，所述冷风管(20)上设有冷风孔(21)；所述加热器(8)上设有导线管(24)，所述导线管(24)的内部设有导线，所述导线管(24)通过导线分别连接所述第一电热管(11)以及第二电热管(12)。

2.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述上支撑板(3)与下支撑板(2)之间设有连接杆(5)；所述水箱(7)设有制冷器(19)、进水管(17)、回水管(18)以及水泵(25)，所述制冷器(19)安装在水箱(7)的内部。

3.根据权利要求2所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述进水管(17)连接冷凝管(16)的一端，所述回水管(18)连接冷凝管(16)的另一端，所述水泵(25)通过螺栓安装在进水管(17)上。

4.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述框架(6)上设有存放板，并且设有多个，所述存放板上设有卡槽，所述空调(9)、加热器(8)以及水箱(7)的底端均设有卡块，所述空调(9)、加热器(8)以及水箱(7)通过卡块安装在所述存放板上。

5.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述支撑杆(1)的下端设有底轮(4)，并且所述底轮(4)通过螺栓连接支撑杆(1)。

6.根据权利要求5所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述底轮(4)为万向轮，并且所述底轮(4)的上端安装有减震弹簧(22)。

7.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述第一电热管(11)以及冷风管(20)的下端设有第一防尘网(14)，所述第二电热管(12)以及冷凝管(16)的上端设有第二防尘网(15)。

8.根据权利要求7所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述第一防尘网(14)的两端设有滑块，所上支撑板(3)的内侧设有凹槽，并且所述滑块位于凹槽的内部，所述第二防尘网(15)的下端设有固定块，所述固定块安装在下支撑板(2)的内侧。

9.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述导线管(24)上设有开关，所述开关通过螺栓连接在线管上，并且靠近第一电热管(11)。

10.根据权利要求9所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述开关为按钮开关，并且所述开关的内部设有无线接收控制器。